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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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! 组分对!#$ 量子点形状演化的影响!
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邓 宁 陈培毅 李志坚
(清华大学微电子研究所,北京 ###$% )
( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿)
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研究了自组织生长 岛(量子点)中 组分对形状演化的影响 采用 方法生长了不同 组分的
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)*+, 岛,用456 对其形状和尺寸分布进行了分析,实验结果表明)*+, 岛从金字塔形向圆顶形转变的临界体积随)*
组分的增大而增大 通过对量子点能量的应变能项进行修正,解释了量子点中 组分对形状演化的影响 在特定的
- )* -
工艺条件下得到了单模尺寸分布的金字塔和圆顶形量子点 结果表明,通过调节 岛中的 组分,可以实现对
- )*+, )*
)*+, 岛形状和尺寸的控制-
关键词:自组织生长 岛, 组分,临界体积
)*+, )*
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KLEE 和 等人研究了 量子点的生长过
M,NELOO +,
J 引 言 程,提出了一个简单的模型用于定性解释量子点体
[]
积和形状的关系’ ,但该模型过于理想化,只研究了
异质外延生长应变自组装(自组织生长)量子点 纯 量子点能量和体积的关系 文献[]也在量子
+, - I
在纳米电子器件和光电器件方面有着重要应用,尤 点的能量中考虑了应变能的影响 国内研究了热退
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