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脆性材料における圧痕破壊法によるクラック開口変位の研究 A Study on Crack Opening Displacement of Indentation Fracture in Brittle Materials ○脇山 淳（鹿児島大） 川畑 孝史（鹿児島大（現 株式会社神戸製鋼）） 中西 幸太郎（鹿児島大（現 本田技術工業株式会社）） 正 中村 祐三 （鹿児島大） 前田 義和（鹿児島大） 岩本 竜一（鹿児島県工業技術センター） Jun Wakiyama, Kagoshima University, korimoto1-21-40, kagoshima-shi, Kagoshima Takashi Kawabata, KOBE STEEL. Ltd, shinhama araicho 2-3-1, Takasago-shi, Hyogo Kotaro Nakanishi, Honda Motor Co. Ltd, matuyamacho 19, mooka-shi, Tochigi Yuzo Nakamura, Yosikazu Maeda, Kagoshima University, korimoto1-21-40, kagoshima-shi, Kagoshima Ryuichi Iwamoto, Kagsohima Prefectural Institute of Technology, hayatocho oda1445-1, kirishima-shi, Kagoshima Key Words : glass, silicon. brittle materials, crack opening displacement, indentation fracture, 1. 緒言 を用いた．これらを切断後，ガラスは873K で3.6ks 加熱し 残留応力の除去を行い，Si は約10%フッ酸に24 時間浸して 脆性材料の表面に圧子を押し込むとその周りに微小クラ 表面の酸化膜を除去した．硬さ試験は，マイクロビッカース ックが形成され，その大きさから破壊靱性値（K ）を評価で C 硬度計（HMV-1 ：島津製作所製）を用いて室温で，2.94N， きる．中でもビッカース圧痕周りに形成される半円状のラデ 4.9N の荷重，30s の保持時間で行った．なお，Si 単結晶では ィアルクラックはもっともよく利用されており，圧子荷重を 結晶性を考慮して，対角線方向に伸びるラディアルクラック P，クラック半長をC とすると， のへき開面が{011}面になるようにした．形成された圧痕や K C P / C3 / 2 (1) クラックの形状，大きさならびに COD 分布を FE-SEM （日 立ハイテク製S-4100H）を用いて調べた． で破壊靱性値が与えられる（Fig. 1）．ここでは材料の性質 や圧痕のサイズに依存する係数である．(1)式はクラックの大