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鹿児島県工業技術センター研究成果発表会予稿集(2006) 硬脆性材料の超精密加工技術に関する研究 機械技術部 ○岩本竜一，市来浩一＊ 鹿児島大学 近藤英二，皮籠石紀雄，大久保徳之＊＊ ＊ ＊＊ （現 企画情報部， 第一精工(株)） １． はじめに ダイヤモンド工具による硬脆性材料の超精密加工において，工具切込み量をある臨界量以下で加工 1),2) すると延性モード加工が可能となることが知られている 。一般に，この臨界切込み量は非常に小 さく，延性モード状態を維持することは困難である。しかし，加工機内で加工状態を監視することに より，常に延性モードとなるよう制御できれば，安定した加工が行える。そこで，本研究では，脆性 および延性モード加工を加工機内で判別するための有効なパラメータを明らかにすることを目的と し，単結晶シリコンを超精密加工したときの切削抵抗，AE信号と脆性・延性モードとの関係を調べた。 ２． 実験装置および方法 実験は，超精密旋盤に単結晶ダイヤモンドのスローアウェイRバイトを取り付け，単結晶シリコンを 正面切削した。単結晶シリコンの形状をFig.1に示す。図中の記号φは，オリフラからの角度を表す。 切削加工時の切削抵抗およびAE信号は，それぞれ切削動力計，AEセンサを用いて計測した。加工後は 走査型白色干渉計(以下ZYGO)で表面粗さを測定した。実験装置をFig.2に，切削条件をTable.1に示す。 ３． 結果 ３．１ 加工面粗さ 工具ノーズ半径2 mm，工具切込み量d = 0.1 μm，送り速度 f = 30 μm/rev で切削した場合の加工 面および概略図をFig.3に示す。加工面性状は切削方向によって著しく異なり，方位角φが0°,90°, 180°,270°の場合(以下方位角0°と略す)と 45°,135°,225°,315°の場合(以下方位角45°と略す) とに大別される。前者は梨地面になり後者は虹面あるいは鏡面に近い光沢面になった。Fig.4にZYGO による観察結果を示す。方位角φ 0 °の場合，不規則な凹凸形状が見られ脆性モード加工がなされた と推定される。一方，方位角φ45 °の場合は，送り速度に対応する明確なカッターマークが見られ た。Fig.5に，工具切込み量及び切削速度の違いが表面粗さへ及ぼす影響を示す。工具切込み量 d が 0.1 μm の場合は1/4 回転周期で脆性面と延性面が交互に現れ，表面粗さも同様の変化を示している。 延性面では表面粗さ85nm程度が得られた。しかし，d=0.06，0.08 μm の場合，延性面とはならなかっ た。 次に，工具ノーズ半径5 mm，送り速度 = 47.5μmで同様の実験を行った結果を示す。加工面はいf ずれも鏡面とはならず梨地面になった。Fig.6に工具切込み量および切削速度の違いが表面粗さへ及 ぼす影響を示す。工具切込み量を変化させた場合， = 0.06μmのとき粗さはやや小さくなったが理d 論粗さよりはるかに大きい値となり，工具切込み量による変化は小さかった。また方位角φによる違 いも見られなかった。切削速度の違いについては，あまり差は見られなかった。 ３．２ 切削抵抗およびAE信号 Fig.7(a)に工具ノーズ半径2 mm，工具切込み =0.1μm，送り速度 =30μm/revで切削を行っd f たときのAE信号と背分力を示す。AE信号は方位角φが0°の時に高い値となり，方位角φが45°の時 に低い値となった。逆に，背分力は方位角φが0°の時に低い値となり，方位角φが45°の時に高い 値となった。この変動は加工面粗さの変化と非常に良く一致している。このことから，加工面が延性 - 8 - 鹿児島県工業技術センター研究成果発表会予稿集(2006) 面の場合，つまり延性モード切削がなされる場合，AE信