光纤真空压力传感器的实验研究.pdfVIP

维普资讯 2004年 第23卷 第 lO期 传感器技术(JournalofTransducerTechnology) 光纤真空压力传感器的实验研究 奥诚喜 ，雷松鹤 ，徐云兵，王永仓，陈长乐 (西北工业大学 应用物理系，陕西 西安 710072) 摘 要：基于反射式光纤位移传感器原理 ，利用真空膜盒，设计了一种光纤真空压力传感系统，该系统具 有休积小、结构简单、全光纤传输 ，易于实现远程测量及使用方便等特点。实验结果表 明：在 lO。～lOPa 的压力测量范围内，实验测量系统的绝对误差为 -+0．6×10。Pa。 关键词：光纤；压力传感器 ；真空膜盒 中图分类号 ：TN928 文献标识码 ：A 文章编号：1000—9787(2004)10—0027—02 Experimentstudyon opticalfibervacuum pressuresensor AO Cheng·xi，LEISong·he，XU Yun·bing，WANG Yong·cang，CHEN Chang—le (DeptofAppliedPhys，NorthwesternPolyteclmicalUniversity，Xi’柚 710072，China) Abstract：A opticalfiberpressure sensing system based on the reflectiveopticalfiber displacementsensor principleis developedwith the vacuum bellows．The advantages ofthe system involve smallc,~age，simple structure，alllighttransmittedbyfiber，easinessto realizelongdistancemeasurementna d easinessto use ．The preliminaryexperimentalresults indicated absolute error of the developed system is 0．6 × 10 Pa in the measurementrangeof10。一10 Pa ． Key words：opticalfiber；pressuresensor；vacuum bellows 0 引 言 光纤传感器按工作原理可分为两大类…：第一类是非 射膜盒 功能型光纤传感器 (传光型传感器)，在这类传感器 中，光 纤仅仅作为传光的媒介 ，对待测对象的调制功能是依靠其 ——·--——-—二--●测量压力’ 它物理性质的敏感元件来实现的；第二类是功能型光纤传 感器 (传感型传感器)，这类传感器 中，光纤不仅起传光作 用，而且利用外界因素使其传光特性发生变化 以实现传感 图1 反射式光纤位移传感器工作原理 Fig 1 W orkingpl内呻cipleofltfk~2tiveotmealfiber 测量。反射式光纤位移传感器是最早被提出并加 以研究