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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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氟化铒薄膜晶体结构与红外光学性能的关系!
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苏伟涛 李 斌 刘定权 张凤山
（中国科学院上海技术物理研究所光学薄膜与材料实验室，上海 ###$% ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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使用热蒸发技术在锗（ ）衬底上制备了氟化铒（ ）薄膜 衍射结果表明，随着衬底温度的增加，氟化
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铒薄膜发生了从非晶状态到结晶状态的转变，薄膜的表面形貌和红外光学性能也发生了显著的变化，部分结晶的
氟化铒薄膜的远红外透射谱和完全非晶的薄膜基本一致，但是与结晶薄膜则没有相似之处- 晶格常数计算表明薄
膜中存在压应力 使用洛伦兹谐振子模型对薄膜的透射率曲线进行拟合计算，得到 薄膜的折射率和消光系
- *+,
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数- 在’# 1 处非晶薄膜的折射率和消光系数最小值分别为’2%$ 和# 2#’，结晶薄膜的折射率和消光系数最小值分
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别为’2% 和# 2## -
关键词：氟化铒，红外光学性质，光学常数，洛伦兹谐振子模型
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来，稀土氟化物在真空紫外光学薄膜器件的应用引
’2 引 言 起了很多科研工作者的关注，关于这方面的研究可
见文献［— ］在远红外区，稀土氟化物材料，如氟
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化钇（ ） 、氟化镧（ ）、氟化铈（ ）、氟化
在空间光学、光通信、光谱仪、激光等大型光学 F,% G7,% H;,%
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