基紫外探测器研究进展.pdfVIP

前沿进展 !# 基紫外探测器研究进展 ! 4，5 4 4 4 $ 4 邓宏 ! ! 徐自强 ! ! 谢娟 ! ! 李燕 ! ! 祖小涛 ! ! 李言荣 （4! 电子科技大学微电子与固体电子学院! 成都! 4%%#6 ） （$! 电子科技大学物理电子学院! 成都! 4%%#6 ） 摘! 要! ! 近年来，直接带隙宽禁带半导体738（- ’ 9: ）以其优越的光电特性而成为紫外探测领域研究中的新热 点- 文章介绍了不同类型的738 基紫外光敏探测器的结构和性能，并对738 基紫外光敏探测器的最新研究进展和应 用前景进行探讨和展望- 关键词! ! 738 ，紫外探测器，量子效率，光响应度 $%%’()* +(,-(% . !# / 0’%1 23 1%4%)4,( 4，5 4 4 4 $ 4 ;= ?@3A ! ! BC 70DE013A ! ! BF G.13 ! ! HF I13 ! ! 7C B01@DJ1@ ! ! HF I13DK@3A （4 !#$$% $ ’()$*%*+)$,(- .,/ !$%(/ 0 !+.+* 1%*+)$,(- ，2,(3*)-(+4 $ 1%*+)$,( !(*,* .,/ 5*#,$%$64 $ 7#(,. ，7#*,6/8 4%%#6 ，7#(,. ） （$ !#$$% $ 9#4-(.% 1%*+)$,(- ，2,(3*)-(+4 $ 1%*+)$,( !(*,* .,/ 5*#,$%$64 $ 7#(,. ，7#*,6/8 4%%#6 ，7#(,. ） 504(’)46 6 K9293)/L ，738 (1M N993 O9A1OP9P 1M 1 *O@Q0M03A Q1)9O01/ R@O C: P9)92)@OM P.9 )@ 0)M ,0P9 P0O92) N13PA1* 939OAL @R - ’ 9: 13P 9S29//93) @*)021/ 13P 9/92)O021/ *O@*9O)09M- T9 P9M2O0N9 )(9 M)O.2).O9 13P *9OR@OQD 1329 @R U1O0@.M )L*9M @R 738 V N1M9P C: P9)92)@OM ，13P *O9M93) 1 P9)10/9P @U9OU09, @R )(9 /1)9M) O9M91O2( *O@AO9MM 03 )(0M R09/P- 7%89,(16 6 738 ，C: *(@)@P9)92)@O ，W.13).Q 9RR020932L ，M*92)O1/ O9M*@3M0U0)L 738 是一种新型的直接带隙宽禁带半导体材 4! 引言 料，在室温时带隙为- ’ 9: ，束缚激子能高达% ［ ］ Q9: - 738 与1= 、[0\ 等其他的宽带隙材料相比 紫外探测器被广泛的应用于天文学、燃烧工程、 有很高的化学和热稳定性、更好的抗辐射损伤的能 水净化处理、火焰探测、生物效应、天际通信及环境 力、较低的生长温度、适合作长寿命器件等优点，特