微结构自由曲面的超精密单点金刚石切削技术概论木.pdf

第49卷第 19期 机 械 工 程 学 报 Vo1．49 NO．19 2013年 10月 JOURNAL0FMECHANICALENGINEERING Oct． 20 13 DoI：1O．3901／JME．2013．19．144 微结构 自由曲面的超精密单点金刚石 切削技术概述木 李荣彬 ，2孔令豹 1,2张志辉 ，2杜 雪 ，2 陈 新2刘 强2 (1．香港理工大学超精密DH-r技术国家重点实验室伙伴实验室 中国香港 00852； 2．广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室 广州 510006) 摘要：回顾了超精密加工技术的发展，主要包括超精密加工设备的开发历程，以及超精密单点金刚石切削技术基础，并对微 工程技术作一简要介绍；重点论述微结构 自由曲面的微纳切削技术，包括单点金刚石车削(Singlepointdiamondturning． SPDT)，快刀伺]／~]JlT(Fasttoolservo，FTS)，金刚石微凿切(Diamondmicrochiseling，DMC)，光栅铣削等技术。指出微结构 自由曲面测量领域面临的挑战和存在的问题，包括接触式测量和非接触式测量。通过几个典型微结构 自由曲面的加工及测量 的应用进行举例说明；最后介绍我国在超精密加工机床领域内的研制情况，展望了超精密切削技术未来发展趋势。 关键词：微结构 自由曲面 超精密加工 精密测量 切削机理 机床设备 中图分类号：TG5 AnOverview ofUltra-precisionDiamondM achiningof 】IicrOstructuredFreeform Surfaces LEEW ingbunI， KONGLingbao CHEUNGChifai T0Suet ‘CHENXin‘LIUQiang~ r1．PartnerStateKeyLaboratoryofUltra—precisionM achiningTechnology,TheHongKongPolytechn ic University,HongKong，China00852； 2．GuangdongProvincialKeyLabofMicro／NanoM achiningTechnologyandEquipment，GuangdongUniversity ofTechnoloyg,Guangzhou510006) Abstract：Thedevelopmentofultra—-precisionmachiningtechnology,includingultra-·precisionmachiningequipmentandthesingle point diamond cutting mechna ism，isreviewed nad summarized．Micro—engineering technology used in theproduction of microstructuredfreeofrm surfacesisintroduced．Theultra—precision diamondcuttingprocessforthesemicrostructuredfreeform surfacesiselucidated，includingsinglepointdiamondturning(SPDT)，fasttoolservo(FTS)machining，diamondmicrochiseling (DMC)，aswellasulrta—precisionrastermilling．Challengesofrmeasuringmicrostructuredfreeofrmsurfacesarediscussed，including contactandnon—contactmeasuringmethods．Casestudiesonthefabri