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精密超精密加工技术的发展 （按照参编的书稿整理） 合肥工业大学机械制造及其自动化学科教授　莫开旺 本文提纲: 1　　 精密与超精密加工概述 1. 1 加工日趋精密，毛坯日趋精化 1. 2 何谓精密加工、超精密加工 1. 3 尖端科技促进超精密加工的发展 1. 4 重视对精密设备工作环境与基础技术的研究 2 加工精度的发展 2.1 各时期能达到的加工精度 2.2 亚微米尺寸，纳米级精度 3 　发展精密与超精密加工的条件 3．1 提高工件材质，精化定位基准 3. 2 微量、超微量去除与精确对刀 3. 3 锋利耐用的刀具，微刃等高的磨具 3. 4 加工系统高刚度、高抗振 3. 5 精化加工设备，稳定加工过程 3. 6 纳米级检测手段 3. 7 控制工作环境 3. 8 提高人的技艺和科技知识水平 4 精密与超精密切削加工的发展 4. 1 精密切削 4. 2 超精密切削 5 精密与超精密磨削加工的发展 5. 1 精密磨削 5. 2 超精密磨削 6 其它精密与超精密加工的发展 6. 1 超精加工 6. 2 精密与超精密砂带磨削 6. 3 精密与超精密珩磨 6. 4 精密与超精密研磨 6. 5 精密与超精密抛光 6. 6 精密与超精密游离磨料研抛 6. 7 精密与超精密特种加工 7 微细加工技术的发展 7. 1 微细加工概述 7. 2 微细分离加工 7. 3 微细沉积与结合加工 7. 4 微细变形加工 7. 5 微细喷射加工 7. 6 微孔钻削加工 （为了解更多情况，请再参阅本人另一文：“切削磨削加工技术的发展”） 1　 精密与超精密加工概述 1. 1 加工日趋精密，毛坯日趋精化 精密与超精密加工是制造精密尖端产品所不可缺少的，是扩大出口机电产品由低档品向高档品发展的需要，它已成为在国际竞争中取胜的关键技术，是现代机械制造的前沿技术和基础技术。因此，各工业发达国家都特别重视提高精密与超精密的加工能力和测试能力。 机械制造工艺朝精密化方向发展的超势，不但表现在最终加工工艺，如精密切削、精密磨削、超精密切削、超精密磨削等；而且也表现在传统上属于毛坯制造和粗加工的各种工艺，如精密铸造、精密锻压、粉末冶金等，并已获得广泛应用。美国各种精密锻件约占锻件总产量的80％。各工业发达国家都非常重视精化毛坯。 精铸、精锻工艺提供了接近于成品零件的精化毛坯，既节约了原材料，又减少了后续工序，大大提高了劳动生产率和经济效益。因此，在不断提高机械加工精度的同时，提高毛坯精度也是今后机械制造的发展方向。 大家知道，决定机器零件使用性能的是最终加工的尺寸精度、形状精度、位置精度和表面质量。“精密加工”、“超精密加工”能“精”到什么程度，就是指零件经过最终加工之后在这几个方面所能达到的水平。只有在精密与超精度加工工艺上有重大突破与提高，中国的机械制造业才算是真正达到国际最先进水平。 机械加工精度和表面质量的水平取决于加工方法、机床、刀具、磨具、辅具、量仪等许多因素，在现代化的自动机床或自动线上加工还取决于检测系统和控制系统。只有这些因素都处于最佳状态，才有可能实现精密与超精密加工。 1. 2 何谓精密加工、超精密加工 关于精密加工与超精密加工的概念曾有种种说法。有人认为，凡是用高于被加工零件精度的高精度机床与工具，加工出比其低一级的精密零件，即所谓模仿式加工，这种加工方式属于精密加工；凡是用低于被加工零件精度的低精度机床与工具，对其采取精化措施，如采用校正装置补偿各种误差，以提高其精度，然后加工出高精度的更精密零件，即所谓直接创造式加工，或者说，凡是用低于被加工零件精度的低精度机床与工具，同样对其采取精化措施，先设计研制出其精度高于被加工零件精度的超高精度机床与工具，然后用这种机床与工具，加工出高精度的更精密零件，即所谓间接创造式加工，这两种加工方式都属于超精密加工。也有人认为，凡是加工误差为1～0.1μm属于精密加工，加工误差为0.1～0.01μm属于超精密加工，加工误差≤0.01～0.001μm属于超精微加工。还有一种说法是，在最终加工工序中，凡能去除小于0.1μm的金属表面层，以达到小于0.1μm的加工误差和小于0.0lμm的表面粗糙度高度，就称为超精密加工。最早人们这样认为，凡加工精度达到中国旧精度标准1级(相当于新标准5～6级)，表面光洁度达到12～14，就属于超精密加工。上述种种说法不是缺少定量，就是规定的量的界限常因科学技术和加工工艺的不断发展而有变动。因此，现在一般的统一概念是，凡加工精度超过当前正在施行的公差标准中最高那一级的精度标准，就称为超精密加工。这样的概念和定义既明确又不会因时间的