CO2激光等离子体极紫外光源收集镜研究.pdfVIP

第34卷 第6期 激 光 技 术 Vo1．34，No．6 2010年 11月 LASER TECHN0LOGY November，2010 文章编号：1001—3806(2010)06—0725—04 CO2激光等离子体极紫外光源收集镜研究 朱新旺，王新兵，傅焰峰，卢彦兆，石玉华 (1．华中科技大学 武汉光电国家实验室，武汉430074；2．武汉光讯科技股份有限公司，武汉 430074) 摘要：为了研究极紫外光源系统中收集镜的形状和液体微滴的漂移，计算了收集镜的参量，并采用ZEMAX模拟了 液体微滴上下和左右漂移501xm，100txm，1501xm时中间焦点的成像变化情况。结果表明，液体微滴在上下方向上的漂移 对中间焦点成像的影响很大，应该尽量将上下漂移控制在201xm以下；而液滴在光轴方向上的漂移对中间焦点成像的影 响稍小。 关键词：激光技术 ；x射线光学；极紫外光源 ；激光等离子体；收集镜；ZEMAX 中图分类号：TN249 文献标识码 ：A doi：10．3969／j．issn．1001—3806．2010．06．002 Researchofcollectorm irrors0fC0 1aserproducedplasmaEUV source ZHUXin．wang，WANGXin．bing， Yan-feng，LUYan．zhao，SHIYu—hua (1．WuhanNationalLaboratoryforOptoelectronics，HuazhongUniversityofScienceofTechnology，Wuhan430074，China；2． AccelinkTechnologiesCo．Ltd．，Wuhan430074，China) Abstract：Inordertostudytheshapeoftheextremeultraviolet(EUV)collectormirrorandliquiddropletsdriftoftheEUV lightsourcesystem ，theparametersforthecollectormirrorwerecalculated．Theimagesoftheintermediatefocusweresimulated withZEMAXwhentheliquiddropletsdrifted50~1m ，lO01xm ，150~m from toptobottom andrfom lefttoright．Theresultsshow thatthedrift oftheliquid micro—dropletsin the upperandthe lowerdirection have greatinfluence on theimaging ofthe intermediatefocuspoint，thedriftshouldbecontrolledbelow201xm inthisdirection，andthedriftoftheliquidmicro—dropletsin theopticalaxisdirectionhavesmallerinfluenceontheimagingoftheintermediatefocuspoint． Keywords：lasertechnique；X-rayoptics；extremeultravioletsource；laserproducedplasma；collectormirror；ZEMAX 115W 以上。激光等离子体 (1aserproducedplasma， 引 言 LPP)光源由于其具备高功率输 出的优势最有希望担 光刻技术发展到今天，所利用的光源波长已经从 负起EUV光刻技术量产的大任 。J，进而继