烧结技术对99BeO陶瓷材料结构与性能影响JournalofInorganic.pdfVIP

第２５卷 第４期 无 机 材 料 学 报 Ｖｏｌ．２５，Ｎｏ．４ ２０１０年４月 　 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＩｎｏｒｇａｎｉｃＭａｔｅｒｉａｌｓ 　Ａｐｒ．，２０１０ 文章编号：１０００３２４Ｘ（２０１０）０４０４１５０４ ＤＯＩ：１０．３７２４／ＳＰ．Ｊ．１０７７．２０１０．００４１５ 烧结技术对９９ＢｅＯ陶瓷材料结构与性能影响 钟朝位，梁 剑，张树人，张韶华，李 波 （电子科技大学 电子薄膜与集成器件重点实验室，成都６１００５４） 摘 要：系统研究了传统烧结方法、台阶式烧结方法和两步烧结方法对９９ＢｅＯ陶瓷微结构和性能的影响．研究发现：台 阶式烧结有助于９９ＢｅＯ陶瓷的晶粒细化，两步法烧结有助于提高９９ＢｅＯ陶瓷的热导率．实验优化了两步法中第一阶段 烧结温度Ｔ、第二阶段烧结温度Ｔ及保温时间ｔ等工艺参数．结果表明，在 Ｔ为１６３０℃，Ｔ为１５５０℃，ｔ为４ｈ时可获 １ ２