同步辐射光束线六杆并联机构的逆运动学精确求解及应用.pdfVIP

第 31 卷 第 7 期 核 技 术 Vol. 31, No.7 2008 年 7 月 NUCLEAR TECHNIQUES July 2008 同步辐射光束线六杆并联机构的逆运动学 精确求解及应用 李勇军 1,2 卢启鹏 1 彭忠琦 1 陈家华 3 1 （中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，应用光学国家重点实验室 长春 130033） 2 （中国科学院研究生院 北京 100049） 3 （中国科学院上海应用物理所 上海 201800 ） 摘要 目前同步辐射光束线六杆并联机构应用广泛，但六杆并联机构六维调节缺乏理论指导，调节困难，工 作效率较低，为提高收敛速度和调节精度，本文分析了并联机构的特性，从相关物理模型出发，运用坐标变 换法详细分析了六杆并联机构的逆运动学问题，得到六杆长度的精确求解方程组。采用 MATLAB 软件对系统 仿真计算，得到相应的杆长变化曲线。实例应用结果表明，该方法快速有效，线性调节分辨可高于 5 µm，转 角分辨可高于 3，完全满足实际要求，为同步辐射光束线光学平台的精密调节提供了理论依据。 关键词 同步辐射，光束线，六杆并联机构，逆运动学，单色仪 中图分类号 O432.1 ，TH113.2 同步辐射是继电光源、X 光源、激光光源之后 支杆的长度调节决定，具有六个自由度。 第四种对人类文明有革命性推动的新光源。光束线 在同步辐射光束线工程中，为使系统操作更为 的主要作用是对同步辐射进行准直、聚焦、单色化 简便，采用如图 2 所示的六杆并联机构。其物理模 等一系列处理，通常由单色仪和前、后置镜组成， 型不同于图 1，支杆为三根竖直支杆和三根水平支 而三者的核心部件即光学元件的稳定与调节均由精 杆，支杆长度以差动螺旋方式微动调节，操作简单、 密调节平台完成，而越来越多的同步辐射实验线站 节省空间，上、下铰点位置都不在一个平面上。 [1-5] 采用六杆并联机构 。 并联机构是一类全新的调节运动结构，与传统 的串联机构相比，它具有高刚度、高精度、高承载 能力和结构简单紧凑等优点，其应用几乎涉及现代 尖端技术的各个领域[6-8] 。在并联机构的运动分析 中，给定所需的动平台位置和姿态(简称位姿) ，求 解支杆长度的过程为逆运动学；反之，为正运动 学[9] 。通过对六杆并联机构逆运动学的精确求解， 图1 六杆并联机构原型图 可改变多年来沿用的光束线光学平台靠经验及采用 Fig.1 Six-bar parallel mechanism 千分表读数判断位置的现状，有效减少调节的重复 次数和随机误差，减轻调节的工作量，提高调节的 收敛速度及调节精度，有利于快速精确调节。 1 六杆并联机构逆运动学 六杆并联机构( 图 1)[10] ，通常由六根可伸缩的 驱动支杆（以下统称支杆）和球形铰链将定平台和