硅微结构MEMS电容设计与仿真开题报告.docVIP

硅微结构MEMS电容设计与仿真开题报告.doc

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开 题 报 告 1.结合毕业设计课题情况,根据所查阅的文献资料,撰写2000字左右的文献综述: 硅微结构MEMS电容设计与仿真 文 献 综 述 1.本课题研究背景 1.1 MEMS研究现况 1.1.1国外研究现况 MEMS在国外已受到政府部门、企业界、高等学校与研究机构的高度重视。在国外,美、日、德等国的MEMS的研究与应用方面占据领先地位。加利福尼亚大学伯克利分校在MEMS加工与微细加工技术方面的发展很快,其静电微机电的研究处于领先地位,在微器件、微结构的研究方面也取得了很大的进展。麻省理工学院、威斯康星-麦迪孙大学、凯斯西方储备大学等在MEMS的研究方面取得了一定的成就。另外,一些研究公司和实验室在MEMS的研究方面也做了大量的工作。朗讯公司在MEMS光开关方面处于世界领先水平,二维MEMS光开关研究已基本成型,目前正在研究三维MEMS光开关。德克萨斯州仪器公司研究的数字微镜在MEMS领域曾引起轰动,对高清晰度电视、全光通信等领域的发展具有极大的推动作用。Northrop公司利用硅片进行了光波导技术研究,并研制出微光学陀螺仪(MOG)样机。Draper实验室于1989年最先研制出双框架式微硅陀螺,并与1993年研制出由三个微硅陀螺、三个微硅加速度计和附加电路组成的微惯性测量组合(MIMC)。Litton公司、Honeywell公司和Draper实验室成功地将光波导移相器做成多功能集成光路芯片,并应用于光陀螺。美国航空航天局(NASA)研制出不足1美元的“发现号微型卫星”,正在构思成本在10万美元以内的纳卫星(或者称之为“卫星芯片”)。美国国家科学基金会把MEMS作为一个新崛起的研究领域并制定了资助微型电子机械系统的研究计划。MEMS的三个标志性成果分别为数字微镜、静电微电机和微加速度计,均由美国发明。目前,美国在MEMS研究的总体水平处于世界领先地位。 日本在MEMS的研究起步晚于美国,但是政府、学术界和产业界高度重视,东京大学、东北大学在微细加工、微流量泵、微型传感器、微继电器等方面取得了相当快的进展。名古屋大学成功研制了直径为6mm、具有16个爪的微管道流通微机器人。Epson公司研制出光诱导微型自行机器人。东京大学生产技术部开发的在线放电磨削(WEDG)技术和特种放电电路,可加工出5μm的细轴和微孔。岛津制作所研制出生物细胞微操作器。滋贺医科大学研制出用于眼科手术的微机械“GENGERO”。名古屋大学利用形状记忆合金(SMA)研制出可在血管中操作的有源导管。日本在微机器人方面的研究处于世界领先地位。 德国Karlsruhe研究中心在微细加工方面首创了LIGA技术,即X光深层光刻、微电铸和微塑铸三种工艺的有机结合,可实现高深宽比的微结构。LIGA工艺可制造加工难度极大的微结构,微结构高度可达到1mm,线宽尺寸小到0.2μm,深度比可达到500,表面粗糙度可达到30nm。美因茨技术研究所(IMM)利用准分子激光烧蚀与LIGA技术结合研制出准分子激光工艺技术。德国在微细加工方面处于世界领先地位。另外,英国的3M计划提出揭示了DNA、有机高分子和超大分子测量研制。瑞典Uppsala大学也在研制在显微镜下工作的微机器人。 目前,国外已研制成的微机械结构部件有阀门、弹簧、喷嘴、臂梁、齿轮,连接器、散热器、马达及各种传感器(如加速度表、陀螺、微型惯性测量组合等)。硅微压力传感器、微加速计、微阀门等已成为商品,具有和传统产品竞争的能力。 1.1.2国内研究现况 我国MEMS的研究始于20世纪80年代末,起步并不晚,在“八五”、“九五”期间得到国家科技部、教育部、中国科学院、国家自然科学基金委和原国防科工委的支持。经过近二十年的发展,我国在多种微型传感器、微执行器和若干微系统样机等方面已有一定的基础和技术储备,初步形成了几个MEMS研究力量比较集中的地区。包括京津地区,如清华大学、北京大学、中科院电子所、信息产业部13所、南开大学等;华东地区,如中科院上海微系统所、上海交通大学、复旦大学、东南大学、浙江大学、中国科技大学、厦门大学等;东北地区,如信息产业部电子49所、哈尔滨工业大学、中科院长春光机所、大连理工大学、沈阳仪器仪表工艺研究所等;西南地区,如重庆大学、信息产业部电子24所、44所和26所等;西北地区,如西安交通大学、航空618所、航天771所等。这些因地域而组成的研究集群,已形成彼此协作、互为补充的关系,为我国的MEMS研究打下了良好的基础。 1995年国家科技部实施了攀登计划“微电子机械系统项目”(1995—1999年)。在科研能力积累上,1996 年建设的微米/纳米加工技术国家级重点实验室,使我国的MEMS 加工技术研究得到较大提高,实验室购置了当时国际上最先进的MEMS加工关键设备,如STS深槽刻蚀机、

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