洁净室空调控制及节能的研究.docVIP

南京理工大学硕士研究生 学位论文开题报告 姓 名： 汪韵新 学 号： 011110756 学 科： 控 制 工 程 所在院系： 自 动 化 学 院 指导教师： 2014年 3月 20日填 一、拟选定学位论文的题目名称 洁净室空调控制及节能的研究 二、选题的科学意义和应用前景 随着各种电子终端产品应用的普及，市场对电子终端所使用之TFT-LCD（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display）产生了旺盛需求，国内很多企业如华星、京东方、深超、中电熊猫等近年都加大了对产能建设的投入，很多洁净厂房在中国相继建立起来。暖通空调HVAC（Heat，Ventilation and Air-Conditioning），就是通过对室内空气进行调节，创造一个空气环境（包括温度、湿度、洁净度及空气流动速度等各参数）来服务于生产工艺。中央空调根据生产工艺的不同要求而确定室内空气诸参数的要求。电子工业对环境的要求除了温湿度外，高洁净度是其另一大特征。 洁净厂房与普通厂房有很大区别，体现在：初期投资金额大；运行成本高；温湿度、洁净度的稳定性对产品的良率有很大影响；各区域温湿度要求不一致等。洁净空调运行成本与空调形式、控制方式等都直接相关。对洁净环境进行有效的温湿度控制，以达到生产环境的高要求。同样，控制的方式和稳定性对产品的良率和降低洁净室运营成本也有很高的要求。对于一个理想的洁净厂房控制系统而言，应具有很高的可靠性、精确性和可适应性，并且在外界干扰的情况下，尽快回到控制范围内。因此，个人认为洁净厂房控制的研究是十分有必要的。 与民用空调相对重视节能问题而言，由于各种各样的原因，有相当多的洁净空调处于非正常工作状态，浪费能源的问题比较突出。洁净空调节能措施，当前洁净空调应重点采取的节能措施主要集中在四个方面，合理确定设计参数，优先选用节能设备，加强装备水平，采用先进生产工艺，提供洁净空调的自动化控制水平。空调系统的温湿度控制精度总是差强人意，原因就是，空调系统是一个时变、非线性、大滞后系统，常规的控制策略很难获得良好的控制性能。本文以中电熊猫液晶显示科技有限公司阵列厂房洁净空调为例，描述了洁净中央空调温湿度的基本控制方案，并给出工程调试结果。然后对此洁净中央空调进行相关数据采集，通过MATLAB软件，用最小二乘法，建立冷水阀门开度与厂房房间内温度间的数学模型（一阶惯性滞后+纯滞后模型），为系统仿真提供模型依据。本文先介绍了SMITH预估原理，并将其改进。在预估误差回路上，加入加权平均滤波，来增强系统的稳定性。随后介绍了模糊控制基本理论，模糊自适应PID算法的原理并针对中央空调冷水阀门与房间温度之间的数学模型，采用模糊自适应PID+改进的SMITH预估控制算法，在MATLAB软件上进行系统仿真，得到很好的控制效果。提出空调降温PID与加热PID互锁，除湿PID与加湿PID互锁的思想，同时给出如何合理的选择这四个PID孔氏回路的设定值，使控制系统节能，应用于实例，取得了良好的节能效果。 液晶面板在生产过程中，如果洁净厂房洁净度不高，粒子如果过多，将增加空气的导电性，将会击穿电子芯片。一旦温度或湿度不在可控范围会影响到曝光的精度或静电集聚导致微电路短路或断路。要解决空调温湿度控制，首先就是要克服温湿度滞后问题，然后再考虑温湿度控制之间的耦合关系，因此中央空调的温度控制的关键技术之一就转化成为了控制系统大滞后问题的研究。在此基础上结合具体分区域洁净室空调型式与控制重点展开对洁净度的控制研究以及满足生产要求前提下的节能研究。以曝光工艺段为例，主要控制因子为温度，曝光的精度对玻璃基板所在环境的温度要求在23±1℃，实际曝光机在曝光过程中温度稳定性要求更高(内部设置温度微调装置进行解决)。同样以配向工艺段为例，主要控制因子为相对湿度，规格为60±10%，湿度过低会导致在摩擦配向的过程中产生静电的集聚。相对湿度主要和洁净室补充的新风的露点温度有关，同时也和环境的温度成一定的非线性的关系。所以，洁净空调的温湿度控制主要转化为二方面，新风的温湿度控制和洁净室的干盘管温度控制系统。 三、 背景科研项目情况简介 本课题为中电熊猫液晶显示科技有限公司阵列厂房—温湿度控制及节能的研究。 早期的工业空调没有实现自动控制，都是有经验的操作工人根据实际工况将调节阀调节到一定的位置。需要很长时间才能达到预定的效果，这样必然会导致能源的浪费，而且在一段时间内不进行调节，控制效果会变坏。由于计算机、通