感应耦合等离子体源线圈配置对等离子体特性影响.pdf

感应耦台等离子体源线圈配置对等离子体特性的影响 中立摘要 感应耦合等离子体源线圈哥己置对等离子体特性的影响 中立乏摘要 感应耦合等离子体技术以其结构简l喜、低气压下产生高密度等离子体的能力及其 良好的可扩展性得到了广泛的应用。本文=从优化设计的角度出发，研究了线圈配置对 等离子体特性的影响。 建立了变压器模型，模型中将等离子2体看成是一变压器的次级线圈。模型的分析 和计算结果表明，增加感应耦合等离子仁奉源线圈的Q值有利于改善功率耦台效率。 改变线圈的配置，从实验角度研究了一线圈配置对等离子体特性的影响。实验结果 表明，单匝线圈由于电感量太低不足以健三线圈两端产生点火所需的高压，因此使用单 匝线圈不能放电；同一线圈镀银之后，线毛圈的电阻下降，Q值增加，从而耦合效率改 善：对于不同线圈之间耦合效率的比较需言要将电阻的因素考虑进去。功率增加，耦台 效率增加且呈饱和趋势，与计算结果符台；-较好。H放电模式下，气压增加，耦合效率； E放电模式下，耦合效率随气压没有明显曼的变化，间接证明了感应耦合等离子体放电 下对应的等离子体密度是单匝线圈对应昏勺等离子体密度的3倍，间接证实了Q值提 高有利于提高线圈能量耦合性能。 本文通过研究线圈配置对等离子体特性的影响，得出了一些对实际等离子体源设 计有指导意义的结论。 关键词：感应耦台等离子体：优化设计； 线圈配置 作者：狄小莲 指导老师：辛煜 感庸藕台等离子体源线圈配置对等离子体特性的影响 英文摘要 Plasma InfluenceofDifferentCoilGeometrieson Performancesin Plasmas InductivelyCoupled Abstract An toits to geometricsimplicity,ability inductivelycoupledplasma(ICP)source，due at in and area low been used widely generatehighdensitylargeplasmapressure，has many the ofcoil ofdifferentcoil on fields．From optimization，influencegeometries po缸view plasma hasbeenstudied． performances whichthe isconsideredasthe AIransformer model，in plasma secondarycoil，isapplied