薄膜材料与技术（全套课件）下.ppt

一、出发点： 电子衍射可以揭示晶体点阵的周期性势场排布； ? TEM 电子衍射 ? 电子能量较高 ? 穿透式 非表层信息 ； ?电子能量 ? 仅表面原子衍射 ? 揭示薄膜结构特性！ 二、具体实现 如右图1 ： 1、10~1000 eV的低能电子从薄膜法向入射到薄膜表面； 2、低能电子只受到表面晶体二维平面周期场的作用，其衍射斑点 对应薄膜表面晶体结构： ? ? 一定时，一维原子链的衍射为围绕其轴线的两个锥面 图 2 ； ? n 不同时 周期性排布变化 产生椎角不同的衍射锥面对； ? 二维点阵的衍射方向是上述不同方向、椎角衍射锥面的交线！ 3、利用球面荧光屏截取衍射线 ? LEED斑点 图4 ? 表征原子排列的周期性和对称性，并非实际原子的位置！ 三、LEED的缺点 如右图 3 所示 ： ? 半级斑点相同 ? 点阵结构可以完全不同 ? 只能推断、不能确认 ? 需要其它测试手段进一步确认材料表层的点阵结构！ 5 薄膜表征 5.2 薄膜形貌/结构 5.2.4 低能电子衍射 Low Energy Electron Diffraction 1 2 3 4 一、测量原理：测量物质原子间作用力！ 1、原子间距 1 nm时，原子间的 Lennard-Jones势显著化 ? 原子间产生较强相互作用力，并满足： F -6A?r-7 + 12B?r -13 5-17 2、原子间距离? ? 原子间作用力?? ? 可由微探针受力大小换算出表面原子高度 ? 样品表面形貌 ? 获得的是原子力图像，并非真实形貌！ 3、核心部件：直径 10~20 nm的显微探针 + 压电驱动装置 二、主要工作模式： 1、接触式：探针与样品表面极为接近  ? 直接受很强斥力作用 ? 分辩率很高！ 2、非接触式：探针以一定频率在样品表面上方 5-10 nm处振动 ? 受表面-探针间引力作用 F≈ -10-12 N  ? 分辩率低、但不会接触/损坏/污染样品！ 3、拍击式：振动 + 接触模式 振幅约100 nm  ? 每次振动中接触样品表面一次 ? 兼具高分辨率和非接触式不影响样品的优点！ 5 薄膜表征 5.2 薄膜形貌/结构 5.2.5 原子力显微镜 Atom Force Microscopy AFM的基本构成 原子力与原子间距的关系 一、测量原理：利用量子力学的隧道效应测量表面形貌！ 1、利用一根非常细的钨金属探针实现测量； 2、当针尖与样品表面距离极小时，针尖原子的外层电子会通过 “隧道效应”跳到待测物体表面上形成隧道电流； 3、由于样品表面原子级微小起伏会影响隧道电流的大小，只有 不断调整针尖相对于物体表面的高度才能维持恒定的隧道电 流，针尖高度的调整轨迹即可对应待测样品的表面形貌。 二、主要特点： 1、探针直径：0.1~10 ?m； 2、针尖-样品表面距离：1 nm左右； 3、分辩率：法向 0.01 nm，切向 0.1 nm 极高！ ； 4、隧道电流的直接相关量是表面电子态密度，如果存在其它 影响电子态密度分布的因素，则可能得到“伪表面形貌”！ 5、要求待测样品具有导电性或者是半导体； 6、可在真空、大气、常温、低温等不同条件下工作，甚至样 品可浸在水、电解液、液氮或液氦中； 7、可观察到表面的原子结构，是显微镜技术的一大进展，也 成为纳米技术的主要分析工具 如右图所示 ； 8、可推动表面原子迁移，实现原子级表面重构 如右图 ！ 5 薄膜表征 5.2 薄膜形貌/结构 5.2.6 扫描隧道显微镜 Scanning Tunneling Microscopy STM的基本构成及原理图 STM测得的表面原子结构和实现的原子操纵 * 二、低温抑制型生长组织： 2、T型组织 Transition ：致密纤维状微晶 1）形成条件：Ts/Tm 仍较低 0.1~0.3 、气压 P 较低 2）形成特点： ? 介于 I 型和 II 型之间的过渡型生长； ? Ts/Tm仍较低 ? r*?、n*?