多阶柱状微电极加工模型及试验研究 Theoretical and Experimental Research on Fabrication of Multiple Stepped Cylindrical Micro Electrode.pdfVIP

下载本文档

12
0
约2.31万字
约 8页
2017-09-03 发布于湖北
举报
版权申诉

多阶柱状微电极加工模型及试验研究 Theoretical and Experimental Research on Fabrication of Multiple Stepped Cylindrical Micro Electrode.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第47卷第17期机械工程学报 Vbl．47No．17 2011年9月 S印． 2011 JOURNALOFM[ECHANICALENGINEERING DoI：10．390l，JME．2011．17．164 多阶柱状微电极加工模型及试验研究事刘勇1，2 曾永彬1余宏兵1朱荻1 (1．南京航空航天大学机电学院南京210016； 2．山东大学力学与机电装备联合工程技术研究中心威海264209) 摘要：为实现微电极的精确控制加工，对微细电极电化学刻蚀制备技术进行深入研究。针对单阶柱状电极的不足，分析多阶柱状微电极的加工原理及制备流程。针对分阶电极加工中的三种刻蚀状况，分析各段的刻蚀变化率，并由此推导出电极尺寸与形状控制函数。通过试验证实刻蚀过程中电流密度的不变性，讨论不同电流密度对电极直径的影响规律。通过试验归纳，建立加工电压、电流密度、浸入深度三者之间对应的函数关系，验证电极直径随时间呈线性变化的正确性。基于上述两组模型函数，建立多阶柱状微电极的加工控制模型，并对某三阶柱状微电极的形状及尺寸进行加工预测，实际加工结果显示，试验值与理论值具有很好的一致性。在加工控制模型的指导下成功制备出一批精度高的多阶柱状微电极。关键词：微电极柱状电极多阶电流密度电极直径中图分类号：1．G662 Theoreticaland ResearchonFabricationof Experimental MultipleStepped MicroElectrode Cylindrical ZENG YU ZHUDil LⅣYbn91，2 Y0ngbinlHongb她1 ofMech柚ical锄dE1ec仃ical (1．College Engme鲥ng， 210016； NalljingUniv铘时ofAeron枷cs锄dAs仃0nautics，N画ing 2．As∞ci砷ed IksearchC即terofMech姐icsMecha仃D血c Enginee血g Equipme咄 Sh础ng咖Vers咄Weihai264209) Ill of Ab蚰阻ct： 0rd盯to∽hievea the highcontml∞al豫cycylin埘calInicr∞lcc慨processing，也e of for。触icati∞ofmicroel∞廿odcis旭searchedin Vari伽s of sh删蛐gs cylin“cal technology d印th．Ill、riew sin酉e—s自epped the nowoflhe m岫lcc口0de mic∞el∞呲，me plDce懿ing mIllti一曲：ppedcyli枷cal a∞卸alyzed．