毫米波MEMS开关S参数在开关过程中的瞬态变化 Transient S-parameters of millimeter-wave MEMS switch.pdfVIP

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2017-09-03 发布于湖北
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毫米波MEMS开关S参数在开关过程中的瞬态变化 Transient S-parameters of millimeter-wave MEMS switch.pdf

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第19卷第3期光学精密工程 V01．19No．3 andPrecision 2011年3月 Optics Engineering MaL2011 文章编号 1004—924X(2011)03—0593-05 毫米波MEMS开关S参数在开关过程中的瞬态变化廖小平，肖建斌 (东南大学MEMS教育部重点实验室，江苏南京210096) 摘要：研究了静电执行的电容式并联毫米波MEMS开关的S参数在开关过程中的瞬态变化。以一个电容式并联毫米波 MEMS开关为实例．采用已有的开关一维力学动态模型，建立了开关过程中开关梁与介质层之间的间隙与时间的关系；通过HFSS电磁仿真软件，得到开关S参数在开关过程中的瞬态变化。结果显示，在开关下拉过程中(用时约9．4弘s)，插入损耗S：。先缓慢减小(从Up态稳定值一o．20dB缓慢减小到一1．02dB需时9．11肛s．占开关下拉时间的97％)，但在 dB迅速下拉时间末段迅速减小；在开关释放过程中(用时约20“s)，S。，在初段就迅速增大(从Down态的稳定值一20．1 增加到一1．16dB只需1．09“S，占开关释放时间的5．5％)。结果表明，开关从导通信号到阻隔信号的转换时间约为开关的下拉时间；开关从阻隔信号到导通信号的转换时间要比开关的释放时间小一个数量级。关键词：毫米波开关；MEMS开关；S参数；瞬态变化中图分类号：TN631文献标识码：A doi：10．3788／OPE0593 Transient ofmillimeter-waveMEMSswitch S-parameters LIAO Jian-bin Xiao-ping，XIAO Education，Southeast 210096，China) LaboratoryofMEMS，Ministryof University，Nanjing (Key transient ofa shuntand actuatedmillimetre- Abstract：TheS-parameterscapacitive electrostaticany wave wereresearched．Thetransientofthese inthe be— switch duringswitchinggap change parameters tweenswitchbeamanddielectricwasderivedaone-dimensionmechanicalmodelfrom layer by dynamic inthe wasusedfor thetransient fl transient simulating S-pa— publishedpaper．Then，thechange gap inHFSS methodwas toa switch． rameters software．Finally，thisappliedspecific duringsw