激光能量叠加过程中对准精度对焦斑的影响 Effect of alignment accuracy on focal spot during beam superposition process.pdfVIP

第25卷第5期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．25，NO．5 ANDPARTICI。EBEAMS 2013年5月 HIGHPOWERI。ASER May。2013 3)05—1120—05 文章编号： 1001—4322(201 激光能量叠加过程中对准精度对焦斑的影响。 彭龙瑶， 赵雅慧， 张蓉竹 (四川大学电子信息学院，成都610064) 摘要： 利用多光束激光输出耦合叠加是一种提高激光器输出功率的有效方法。采用两束矩形激光对 准系统，分析两光束不同对准情况下的焦斑特性。完全对准的情况下，两束光的远场焦斑重合在一起，焦斑能 量是两光束能量之和。在实际光束对准系统中，讨论了j种常见的对准误差，并比较了这些误差对焦斑特性的 影响。利用ZEMAX软件对设计系统进行了模拟分析，并进行了实验验证。结果表明，元件的位置误差会使远 场焦斑能量集中度降低，焦斑半径增大。 关键词： 高功率激光； 能量叠加； 对准精度； 焦斑半径； 能量集中度 中图分类号：TN241 文献标志码： A doi：10．3788／HPI。P1120 大功率激光器在激光切割、激光焊接和新能源等领域具有广泛的应用前景[1j，研制大功率高质量的激光器 越来越受重视。诸如惯性约束聚变(ICF)这样的系统是通过增加激光器的体积来提高单个激光的输出功率， 但这种方法因为激光材料自身内部物理因素会导致热效应严重、均匀性差，另外材料体积的增大又会导致研制 成本极高。因此将多个较小口径激光器的输出光耦合叠加起来是一种整体提高激光输出功率的有效方法I2。3|。 多激光器阵列叠加的高能激光系统与传统的单孑L径高能激光系统相比，在系统成本、热管理及光束控制等方面 具备明显的优势，近年来成为激光技术领域的研究热点【4“。光束合成技术主要可以分为相干合成和非相干合 成两大类。目前国内外都已经针对不同合成技术中的很多关键技术开展了研究[6。]，无论是哪一种合成方案， 最终目的是要在焦斑上得到一个多光束合成的总的能量输出[8。9】。从实现方式上看，非相干合成是通过一系列 光束整形和变化，将多束激光光束组合在一起输出，它的难度要相对小一些[1…。从严格意义上讲，多束激光的 能量合成并不是要将不同输出光束合成一束，而是直接要求利用多束光辐照使得靶面能量得以提高，因此这是 一种在确定靶面位置前提下得到高能量激光光斑的最直接的方法。虽然在物理上能量合成原理上相对简单， 但是多束激光能量能否有效叠加在一起是实现高功率合成的关键，本文就能量合成情况下光束对准情况对远 场焦斑特性的影响展开分析。 1 理论模型 分析光束在远场(焦斑上)聚焦情况的理论基础是夫琅禾费衍射积分，它同样适用于多光束传输的聚焦分 析，当多个光束的焦斑重合在一起时就实现了能量叠加。以两束矩形孔激光的能量叠加为例，根据夫琅禾费衍 射积分公式，两光束在后焦面上某一点p(x，y)上的复振幅分布分别为[1¨ ㈩ 瞰剐，一嘉唧p+等，心E。EcXI，Yl凇p(刊堕≯)帆峨 蹦圳)一嘉eXpp+等)帷：眨E№，㈨心。㈨]× exp『“些过尘≠幽]dxldy， (2) L J J 式中：波数k一2兀／A，又为波长；／1是透镜的焦距，即衍射孔到衍射屏的距离；a，b分别为矩形光束的长和宽；d为 两光束之间的间距；设平行光束的光场为E(z，，Y，)一1。 两光束在焦斑处叠加后的光强为 I(x，y)一J。(z，y)+J2(z，y) (3) *收稿日期：2012-10-26；修订日期：2012-12-