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21 10 2010 10 Journal of Optoelectronics Laser V ol . 2 1 N o. 10 Oct . 20 10
*
熔石英亚表面微缺陷原位表征及损伤阈值研究*
1, 2 1* * 1, 2 2 1, 2 1 1
蒋 勇 , 袁晓东 , 向 霞 , 徐世珍, 陈 猛 , 王海军, 郑万国,
1 1 1 1 2
贺少勃, 蒋晓东, 吕海兵, 陈清海, 祖小涛
( 1. , 621900; 2. ,
610054)
: , (RM S) HF
, :
, RM S; , 1~ 10
min , 20~ 40 min , 60~ 120 min
, 10 min
: ; ; ; ( RMS) ;
: O483 : A : 2010)
Insitu characterization of subsurface microdefects and damage
threshold of the fused silica
1, 2 1* * 1,2 2 1, 2
J ANG Yong , YUAN Xiaodong , X A NG Xia , XU Shizhen , CHEN Meng ,
1 1 1 1 1
WANG Hai jun , ZHENG Wanguo , H E Shaobo , J ANG Xiaodong , LV Hai bing ,
1 2
CHEN Qinghai , ZU Xiaot ao
( 1. Laser Fusion Research Center, China Academy of Eng ineering Physics, M ianyang 629100, China; 2. School of
Physical Electronics, U niversity of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China)
Abstract:T hrough insitu measurements of surface and subsurface scrat ches in fused silica, the relation
ships bet ween HF acid etching t ime and surface root mean square( RM S) roughness, as well as w idth
and dept h of scrat ches are invest igated.T he damage thresholds are also tested on fused silica after et ch
ing for different t i
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