不同电极结构的纯横向场激励压电传感器性能研究.pdfVIP

2009正 仪 表 技 术 与 传 感 器 2009 增刊 Instrument Technique and Sensor supplement 不同电极结构的纯横 向场激励压 电传感器性能研究 张志甜 ，张 超 ，王文炎 ，马廷锋 ，冯冠平 (1．清华大学精密仪器与机械学系，北京 100084；2．深圳清华大学研究院信息与光机 电研究所，广东深圳 518057) 摘要：横向场激励 (1ateral—field—excitation，LFE)压电传感器因其在液相测量中的优越特性而引起广泛关注。最 近的研究表明LFE器件具有纯LFE、伪LFE和准LFE3种不同的工作模式。为 了研究不同电极结构的纯LFE器件的特 性，文中在相同的铌酸锂晶体基板上制作了5种不同电极结构的纯LFE压电传感器，并进行了性能测试和对 比分析。结 果表明：两圈对称螺旋电极结构与单gap电极结构的LFE器件比另外3个LFE器件具有更高的Q值。-3传感器从空气中 移到水中和从水中移到NaC1溶液中时，谐振频率均减小，而当传感器被从水中移到异丙醇溶液中时，谐振频率增大， 其中双间隔电极结构的LFE压电传感器谐振频率变化幅度最大。 关键词：电极结构；横向场激励；压电传感器 中图分类号：TN384 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2009)增 一0028—03 PerformanceAnalysisofPure．．1atera1．field．excitation PiezoelectricSensorswithDifierentElectrodeConfiguration ZHANG Zhi·tian ，ZHANG Chao ，WANGW en—yan ，MA Ting—feng’，FENG Guan—ping (1．DepartmentofPrecisionInstrumentsandMechanology，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China；2．Center forInformationandOptomechatronics，ResearchInstituteofTsinghuaUniversiytinShenzhen，Shenzhen518057，China) Abstract：Lateral—field—excitation(LFE)sensorshavebeenwidelyinvestigatedduetotheirsupe~orperformanceinliquid sensingapplications．RecentstudiesshowthatLFEsensorshavethreedifferentkindofworkingmodes，pure—LFE，quasi—LFE，and pseudo—LFE mode．Inordertostudythecharacteristicsofpure—LFE piezoelectricsensors，several4．5MHzLFEdeviceswithdiffer— entelectrodeconfigurationswerefabricatedandtested．Deviceswiththetwo—turnsymmetricspiral electrodenadthesingle—gapelec— trodeofferhigherQvaluethanotherdevices．Whenthesensingsurfaceofthesedevicesweretestedfromairtowaterandrfomwater toNaClwatersolutionrespectively，theirresonantfrequenciesdecreased．However，whentheyweremovedfrom watertoisopropnaol watersolution，theresonantfrequenciesincreased．Thedevicewithth