差压传感器双向过载误差的完善.pdfVIP

2009 仪 表 技 术 与 传 感 器 2009 增刊 Instrument Technique and Sensor supplement 差压传感器双 向过载误差的完善 刘 剑，李 颖，刘 波，张 娜，张治国，刘 沁 (沈阳仪表科学研究院，辽宁沈阳 110043) 摘要：文中从结构设计、制作工艺、原材料的性能参数选择等方面介绍了影响差压传感器双向过载误差的因素及完 善双向过载误差方法的体会 。 关键词：双向过载误差；差压传感器；膜片 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2009)增 一0094—02 ImprovementinBoth—wayOverloadErroroftheDifferentialSensor LIUJian，LIYing，LIUBo，ZHANGNa，ZHANGZhi—ngo，LIUQin (ShengyangAcademyofInstrumentationScience，Shengyang110043，China) Abstract：Itfocusontheimpactfactorandtheimprovedmethodonboth—wayoverloaderrorofthedifferentialsensorfrom the structuredesign，fabricationprocessesandthechoiceoftherawmateria1． Keywords：both—wayoverloaderror；differentialsensor；diaphragm 0 引言 表 1 硅电容差压传感器采用3种不同隔离膜片 硅电容差压传感器广泛应用于石油、化工、电力、冶金、 双向过载误差测试数据 比较 环保等行业 ，用于测量液体、气体的差压、流量等参数 ，可作 为过程控制领域用差压变送器的核心部件。双向过载误差是差 压传感器的重要技术参数之一，直接影响到测量与控制的准确 性 。 双向过载误差的调整主要是对产品整个过载压力段上双向 回弹综合性能的复杂调整过程，与隔离膜片、中心膜片和传感 器总体结构合理设计等因素有关。 1 隔离膜片的设计 就硅电容差压传感器双向过载误差而言，隔离膜片的设计 首先要考虑合适的刚度和回弹性，找到理想的双向回弹点。涉 及到隔离膜片材料的机械性能、波纹形状、膜片参数和成型工 0．5 0．4 艺的合理选择以及结构的合理设计。 善0．3 1．1 膜片材料的机械性能 0．2 膜片的材料选择要满足弹性高且稳定，抗疲劳，耐腐蚀， 0．1 耐磨，易于加工和焊接等特点。作为传感器的弹性密封和压力 0 —0 1 传递元件，硬度要选择合适，刚度设计要合理，不能过高亦不 度 tart) 能过低。过高影响压力的线性传递，不利于低压段双向过载误 图1