Sb掺杂SnO2透明导电膜的溶胶-凝胶法制备及其性能研究.pdfVIP

Sb 掺杂SnO 透明导电膜的溶胶-凝胶法制备 2 及其性能研究 1 2 彭丽萍 ，徐凌 1湖北黄冈师范学院物理与科学技术学院，湖北黄州（438000 ） 2 华中科技大学物理系，湖北武汉（430074 ） E-mail ：xu_ling@ 摘 要：以无机金属盐氯化锡(SnCl •5H O)和三氯化锑(SbCl )为原料，用溶胶-凝胶提拉法制 4 2 3 备了掺 Sb 的 SnO2 透明导电薄膜，研究了溶胶回流时间、掺杂量、涂覆层数和热处理温度 对SnO2 :Sb 薄膜的方块电阻和透射率的影响规律，实验发现：溶胶回流三个小时所制备薄膜 的导电性能比一个小时的有很大的提高，同时具有更良好的透光性。在溶胶回流时间 3h、 400 ℃热处理下所制备的掺Sb 量为10mol%的薄膜的方块电阻和在可见光区的平均透射率分 别达到了较好的水平（方块电阻107Ω/□，平均透射率80% ）。 关键词：SnO2，方块电阻，溶胶-凝胶法，薄膜，透射率 中图分类号TN304.9 文献标识码：A 1. 引 言 自从 1907 年 Baedeker 制备出 CdO 透明导电薄膜以后，人们就先后研制出了以 SnO ,In O ,ZnO 等为基体的多种透明导电薄膜。透明导电氧化物(TCO)薄膜因为具有在可见 2 2 3 光区透明和电阻率低等优异的光电性能，所以被广泛的应用在各种光电器件中，例如:平面 液晶显示器，太阳能电池，节能视窗，汽车、飞机等的挡风玻璃等。而金红石结构的SnO2 ， [1] 具有较宽的带隙能（3.6eV ）和较高的激子束缚能（130meV） ，是一种典型的n 型半导体 材料,因其优良的导电性能.光学性能.热稳定性和抗腐蚀性，近二十年来引起国内外对其制备 和应用广泛的研究。由于纯 SnO2 薄膜的载流子浓度是氧空位所决定，故其电阻率较高，通 过在SnO2 中掺入少量的Sb，F 等离子可以大幅度降低电阻率并保持好的透过率。通过在SnO2 中掺入少量的Sb 之后形成施主掺杂，提高导带的载流子浓度。从而达到提高导电性能的要 求。 SnO [2] 2 薄膜有多种制备方法 ，如：气相沉积法，磁控溅射法，喷雾热分解法，溶胶-凝 胶法[3-6]等。每种方法都有各自的优点和缺点，而溶胶-凝胶法有成本低，易于控制掺杂比和 薄膜厚度，大面积涂膜以及对基板的形状较小的限制等优点被广泛应用，本实验以 SnCl •5H O 和SbCl 为前驱物，无水乙醇为溶剂制备了掺Sb 的SnO 薄膜，考察了溶胶的回 4 2 3 2 流时间对薄膜导电性能的影响。同时还研究了掺杂浓度，薄膜厚度对薄膜的光电性能的影响。 2. 实验方法 2.1 胶体的制备 本实验用SnCl •5H O (分析纯)和SbCl （分析纯）为原料，将0.05molSnCl •5H O 和一 4 2 3 4 2 定配比量（摩尔比）SbCl3 的溶于无水乙醇中,并加入少量的盐酸抑制水解，在磁力搅拌器上 搅拌几小时之后，放入恒温水浴锅中 80℃左右进行回流热处理,加入无水乙醇使溶胶中锡离 子的浓度保持在 1.25mol/L,在室温下陈化 24 小时得到澄清透明浅黄色溶胶液。分为两组溶 胶：A)溶胶热回流一小时；B)溶胶热回流三个小时。 2.2 基片准备 × × 将载波片（25