基于原子力显微镜cddvd 表面形貌检测.pdfVIP

下载本文档

17
0
约1.71万字
约 7页
2017-08-30 发布于安徽
举报
版权申诉

基于原子力显微镜cddvd 表面形貌检测.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

电子测量与仪器学报 2008年增刊一种探测传感器式的扫描力显微镜的研制陈晓梅1 马晓苏1 朱振宇1杨德良2 (1中国一航北京汝城计量测试技术研究所。北京100095) (2中科院化学所本原纳米仪器公司，北京100083) 摘要：本文主要介绍了用予扫描力显微镜并带动探针运动的扫描器的研制。利用该扫描器，研制了能安装在纳米测量机上作为探测传感器的上扫描力显微镜。扫描力显微镜与中科院化学所本原纳米仪器公司的扫描探针显微镜控制器联接进行实验测试，在23pm×23um×5岬的扫描范围对样品进行了扫描成像。经测试、分析和计算，在伞量程扫描范围内横向和纵向分辨力分别为0．35rim和0．1nm、在未有任何软件和硬件补偿的情况下横向满量程扫描范围内精度为5％。 n 关键宇：扫描力显微镜(SFM)，纳米测量机(NMM)，扫描器。中图分类号：TH742文献标识码； B c . ofaSFMOf look-alike Development sensor probing 1 XiaomeiMa Chen Xiaosu。Zhu ZhenyulYangDeliang’2 m (I Institute and 100095China) ChangcbengofMetrology Measurement(ClMM)．Beijing (2 Imtitute o ofChinese 100083China) Chemistry AcademyScience．Beijing Abstract：Thisintroducesthe ofacantileversc觚11er．Based011this$calmera mode mainly development up-scanning paper driving c was connectedto ofSFMhasbeen which at onthe ofNMM船a was developed originallyaimingmounting top probing贸fflsor．SFM . unit anano-instrumentof tOdo scannedand electroniccontrolofC