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白光干涉仪.ppt 7页

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白光干涉儀 指導教授:朱志良 教授 研究生:林晉廷 劉丞哲 白光干涉儀 白光干涉儀(White Light Interferometers)為非接觸式的3D顯微物體表面檢測儀器,主要是結合傳統光學顯微鏡組與白光干涉組件,使得白光干涉儀同時具備光學顯微檢測與白光干涉掃描物體表面的功能,可進行顯微3D表面檢測、膜厚量測與平面粗糙度量測等。 白光干涉儀原理 白光干涉技術以可見白光為光源,光源發出的白光通過干涉物鏡後,在物鏡出口處的半透射光學平面反射一半的光,另一半光透射後照射在量測物表面,量測物表面的反射光又再次進入干涉物鏡與元光學平面的反射光產生干涉。 CCD 白光光源 干涉物鏡 分光鏡 待測物 奈米級垂直掃描器 待測物表面 白光干涉原理是利用白光同調性短不易產生干涉的特性,透過頻率與振幅相近的光波,可以形成如右上圖所示的低同調性白光干涉波,而右下圖中顯示物體表面起伏將影響相機影像中每一像素點干涉波的發生高度,依循此高度變化,求取干涉零光程差位置,即可決定出該像素點之待測物體高度,進而求出待測物的整體表面輪廓。 干涉波 各波長同調示意圖 優點 白光干涉儀不需複雜的光路調整程序,操作簡易,準確度高可達奈米解析度,垂直掃描高度可達400um的顯微三維量測,可呈現平面粗糙度與膜厚量測等數據,適合各種材料與微元件表面特徵和微尺寸檢。 應用 待測物 True map

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