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《集成电路可靠性》教学大纲
课程编号:MI4221015
课程名称:集成电路可靠性 英文名称:Reliability of Integrated Circuits
学时: 30 学分: 2
课程类型:限选课 课程性质:专业课
适用专业:微电子学 先修课程:双极型器件物理,场效应器件物理,模拟集成电路,数字集成电路,集成电路制造技术
开课学期:7 开课院系:微电子学院
一、课程的教学目标与任务
目标:随着集成电路的发展进入到系统芯片时代,不仅仅要求其功能和特性参数有大幅度的提高,而且要求具有更高的可靠性,掌握集成电路的可靠性技术是本课程的目标。
任务:本课程主要针对硅器件(包括分立器件和集成电路) 的可靠性问题,介绍可靠性的基本概念、可靠性数学基础、微电子器件失效物理和失效分析、微电子器件的可靠性设计和工艺保证、可靠性试验、微电子器件的应用可靠性等内容。同时特别注意微电子器件可靠性的最新进展。
二、本课程与其它课程的联系和分工
本课程是在《双极型器件物理》、《场效应器件物理》、《》《》《》等总学时 30学时,讲课 28 学时,多种教学形式 2 学时
教学环节
教学时数
课程内容 讲 课 实 验 习 题 课 讨 论 课 上 机 参观或
看录像 小 计 概述 2 2 可靠性数学基础 4 4 失效物理 6 1 7 失效分析 4 4 可靠性设计 4 4 工艺可靠性 4 4 可靠性试验 4 1 5
五、考核方式
笔试(开卷)。
各教学环节占总分的比例:平时作业:30%,期末考试:70%
六、推荐教材与参考资料
史保华、贾新章、张德胜,《微电子器件可靠性》,西安:西安电子科技大学出版社,1999。
(执笔人:贾新章 审核人:张鹤鸣)
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