《微电子学概论》-ch10_纳电子器件.ppt

纳米技术研究内容 纳米科技主要包含三个重要的支撑技术： 纳米材料: 无机纳米材料，有机纳米材料，复合纳米材料等； 纳米加工制造技术：微细加工技术，扫描探针加工技术，分子组装技术等； 纳米表征测量技术：经典的表征分析技术，扫描探针显微技术，单分子检测技术等。 纳米科技的核心思想是制备纳米尺度的材料或结构，发掘其不同凡响的特性，并对其进行研究。由此形成各类纳米科技研发领域. 纳米技术的主要特征 从材料发展的角度看，纳米材料的制备将更多地考虑分子设计、材料结构、表面等。 从纳米结构加工制造的角度看，传统的以三束（光子束，电子束、离子束）技术为核心的微电子平面加工技术仍扮演主要角色。同时，以原子、分子装配等为基础的分子组装技术也越来越受到重视。 对纳米对象的表征除了传统的观察测量技术，如谱学技术、电子显微镜技术外，采用了以STM（扫描隧道显微镜）、AFM（原子力显微镜）为代表的扫描力显微技术。 纳米器件将沿两条路线进行： 1）目前的微电子技术不断缩小加工尺度，为此需要发展新的功能材料和设计技术； 2）量子效应纳米器件。 扫描隧道显微镜 STM是基于导电的样品和针尖之间的隧道电流的大小与它们之间的距离的增大呈指数关系下降的原理造成的。 当针尖和样品距离小于1nm的时候，针尖中的电子波函数与样品表面的电子波函数交叠，当把针尖与样品之间加上偏压时，就可以使它们之间的电子流动，这种