光测量表面粗糙度tku淡江大学welcometamkang.docVIP

表面粗糙度之散射光量 測實驗設計 期末報告 姓名：陳世庭 學號：496371088 班級：機電4 B 指導老師：劉承揚 主要技術 表面粗糙度測量的亞微米範圍內使用激光散射精確測量加工表面粗糙度工件具有根本的重要性，特別是在精密工程和製造行業。這主要是由於更嚴格的質量要求的材料以及小型化的產品組件例如，在磁盤驅動器行業， 保持品質的電器元件裝在一個光盤，表面粗糙度磁盤必須準確測量和控制。因此，表面光潔度，正常表現在以下方面的表面粗糙度，是一個關鍵參數用於接受或拒絕產品。表面粗糙度通常由一個機械針式輪廓。但是，手寫筆技術具有某些限制：機械觸筆之間的聯繫和對象可能會導致變形或損壞的試樣表面，這是一個逐點測量方法而且費時。因此，非接觸和更快速光學方法是有吸引力的。不同的光學非接觸式表面粗糙度測量方法已經制定，主要是基於反射光檢測，聚焦誤差檢測，激光散射，斑點和干擾在這些方法，光散射法， 這是一個非接觸面積平均技術，具有潛在的更快捷的檢查比其他表面貌相技術尤其是傳統的手寫筆技術。其他商用產品，如掃描 隧道顯微鏡掃描隧道顯微鏡?！，原子力顯微鏡 ?原子力顯微鏡！亞波長光柵和光致抗蝕劑這是逐點技術，主要用於光學與光滑的表面粗糙度在納米範圍。許多實驗數據已累積 和數值分析方法，包括解決方案已經制定，然而，實用工具基於激光散射技術相對較少。我們提出一個基於激光散射方法 測量表面粗糙度的加工表面。建議