溶胶-凝胶法陶瓷超薄膜的制备及其摩擦学研究进展.pdfVIP

第23卷第2期 摩擦学学报 v。i韶，N。2 2003年3月TRIBOLOGY March，2003 溶胶一凝胶法陶瓷超薄膜的制备及其 摩擦学研究进展 刘维民，陈云霞，李斌 (中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，甘肃兰州730000) 摘要：介绍了溶胶一凝腔陶瓷超薄膜制备技术，评述了离瓷超薄膜性能检测方法以及溶胶一凝胶陶瓷薄膜的摩擦学研 究和应用进展． 关键词：溶胶一凝胶法}陶瓷超薄膜}摩擦学}进展 J5．5+8 6206 中国分类号：0484．4，TGI 文献标识码：A 文章编号：1004—0595(2003)02一oj 纳米陶瓷薄膜具有优良的物理、化学、机械和摩 擦学性能，可以在极端苛刻环境中用作防护薄膜或用 金属的氧化数)作为前驱体，但金属烷氧化物毒性较 作微型机械和磁记录系统相关元件的抗磨减摩薄膜， 大、对痕量水分敏感且价格昂贵，故也采用易溶于水 因而纳米陶瓷薄膜研究已成为当今摩擦学领域活跃、 (或乙醇等有机溶剂)和易分解的金届盐(如硝酸盐、 也是材料学与摩擦学交叉领域最前沿的课题之 醋酸盐和氯化物等)或金属烷氧化物和金属盐的混合 一[1’2]．常用的纳米陶瓷薄膜制备方法有物理气相沉物作为前驱体，以混合法替代浸渍法(dipcoating)或 积、化学气相沉积和溶胶一凝胶法(简称S—G)等，其中 S—G技术具有工艺设备简单价廉、后处理温度低、基 设备简单、操作方便的优点，并且基片两面可以同时 底形状及大小要求低和化学成分可控等优点o“]，因 涂膜．但采用该方法难以实现均匀涂膜；采用旋涂法 而已被认为是制备陶瓷薄膜最有效的手段之一．目 可以实现均匀涂膜，但不适用于大面积成膜．将涂敷 前，S—G法已广泛用于制备各类功能薄膜、结构薄膜、 薄膜经溶剂挥发、水解和聚合反应，即可得到相应的 抗磨减摩薄膜以及防护薄膜等． 凝胶薄膜，再经适当热处理即可得到所需的薄膜材 料．热处理的作用在于使得凝胶网络发生脱水，并在 1溶胶一凝胶技术 基底和薄膜之间形成化学键肘一O一肼7(埘和M7 S—G技术最早且卓有成效的应用可追溯到古代 分别代表薄膜和基底中的金属离子)，从而增强基底 中国的豆腐制作，现代s—G技术的研究始于19世纪 和薄膜的结合强度．由于制备高硬度无机一有机纳米 中叶，但其在当时并未日1起人们的重视[‘]．1939年，复合陶瓷薄膜以及在聚合物和高性能半导体元件表 Geffcken等“1采用s—G技术成功制备了氧化物薄面镀膜的需要，低温热处理技术越来越引起研究者的 膜，证明了其技术可行性．20世纪70年代，s—G技术关注．目前，光子(或离子)辐射技术及离子注入技术 被成功地应用于制备块状多组分凝胶玻璃，得到了材 等已作为传统烧结法的替代方法而被用于凝胶薄膜 料界的广泛关注并获得迅速发展“]．20世纪80年代的低温后处理’8]． 以来，S—G技术进入发展的高峰时期． 2纳米陶瓷薄膜性能检测 s—G反应通常分为两步“]：第一步通过前驱体水 解而形成羟基化合物；第二步为羟基化合物的缩聚反 纳米陶瓷薄膜的物理机械性能、化学性能及摩擦 应，经过上述水解和缩聚后，可得到澄清透明且粘度 磨损性能等直接决定了其使用性能的优劣．物理机 适中的溶胶．在S—G技术中，一般采用M(OR)Z金械性能主要指薄膜的机械强度(如硬度