传感器 第4版 教学课件 作者 唐文彦 第06章 压电式传感器.pptVIP

哈尔滨工业大学 第六章 压电式传感器 第六章 压电式传感器 压电式传感器的原理是基于某些晶体材料的压电效应，是一种典型的有源传感器（或发电型传感器）。 压电式传感器具有响应频带宽，灵敏度高、信噪比大、结构简单、工作可靠、重量轻等优点。 §6-1 压电效应 某些电介质物质，在沿一定方向上受到外力的作用而变形时，内部会产生极化现象，同时在其表面上产生电荷；当外力去掉后，又重新回到不带电的状态，这种将机械能转变为电能的现象，称为“顺压电效应”。 相反，在电介质的极化方向上施加电场，它会产生机械变形，当去掉外加电场时，电介质的变形随之消失。这种将电能转换为机构能的现象，称为“逆压电效应”。 具有压电效应的电介物质称为压电材料。具有压电效应的物质很多，如天然形成的石英晶体，人工制造的压电陶瓷、钛酸钡、锆钛酸铅等。 第六章 压电式传感器 一、石英晶体的压电效应 石英晶体有天然和人造石英单晶两种。 石英晶体属六方晶系，是一个正六面体，有右旋和左旋石英晶体之分，在晶体学中用三根互相 垂直的轴 Z、X、Y 表示它的坐标。 （讲义P154） 第六章 压电式传感器 Z 轴为光轴（中性轴），它是晶体的对称轴，光线沿Z轴通过晶体不产生双折射现象，因而它的贡献是作为基准轴。 X 轴为电轴（垂直于光轴），该轴压电效应最显著，它通过正六棱柱相对的两个棱线且垂直于光轴Z，显然X轴共有三个。 Y 轴为机械轴（力轴），显然也有三个，它垂直于两个相对的表面，在此轴上加力产生的变形最大。 石英晶体的晶轴 第六章 压电式传感器 ? + + ? ? + Y X p3 p1 p2 （a） Y X + ? + + ? ? p1 p2 p3 ? ? ? ? Fx + + + + Fx （b） Y X ? ? ? ? Fy + + + + Fy + ? + + ? ? p1 p2 p3 （c） 现将组成石英（SiO2）晶体的硅离子和氧离子的排列在垂直于晶体Z轴的xy平面上进行投影，等效为正六边形排列。 图中“ ”代表Si4+，“ ”代表2O2?。 + ? 第六章 压电式传感器 当石英晶体未受力作用时，正、负离子（即Si4+和2O2?）正好分布在正六边形的顶角上，形成三个大小相等，互成120°夹角的电偶极矩 p1、 p2 和 p3（p=ql，q为电荷量，l为正、负电荷之间的距离） 。 电偶极矩的矢量和等于零，即 ，这时晶体表面不产生电荷，石英晶体从整体上呈电中性。（见图a） ? + + ? ? + Y X p3 p1 p2 图（a） 第六章 压电式传感器 Y X + ? + + ? ? p1 p2 p3 ? ? ? ? Fx + + + + Fx 图（b） 当石英晶体受到沿X方向的压缩力作用时，晶体沿X方向产生压缩变形，正、负离子的相对位置随之变动，正、负电荷中心不再重合，电偶极矩在X轴方向的分量， ，在X轴的正方向的晶体表面上出现正电荷。而在Y轴和Z轴方向的分量均为零。在垂直于Y轴和Z轴的晶体表面上不出现电荷。 这种沿X轴作用力，而在垂直于此轴晶面上产生电荷的现象，称为“纵向压电效应”。（见图b） 第六章 压电式传感器 Y X ? ? ? ? Fy + + + + Fy + ? + + ? ? p1 p2 p3 图（c） 当石英晶体受到沿Y轴方向的压缩力作用时，电偶极矩在X轴方向的分量 ，在X轴的正方向的晶体表面上出现负电荷。（这种情况等同于沿X轴方向的拉力作用），同样在垂直于Y轴和Z轴的晶面上不出现电荷。 这种沿Y轴作用力，而在垂直于X轴的晶面上产生电荷的现象，称为“横向压电效应。”（见图c）。 第六章 压电式传感器 当晶体受到沿Z轴方向的力（无论是压缩力或拉伸力）作用时，因为石英晶体在X轴方向和Y方向的变形相同，正、负电荷中心始终保持重合，电偶极矩在X、Y方向的分量等于零。 所以沿光轴方向施加作用力，石英晶体不会产生压电效应。 当作用力Fx或Fy的方向相反时，电荷的极性随之改变。如果石英晶体的各个方向同时受到均等的作用力（如液体压力），石英晶体将保持电中性。 所以石英晶体没有体积变形的压电效应。 第六章 压电式传感器 二、压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料。 它由无数细微的电畴组成，这些电畴实际上是自