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传感器课程电子教案 第十一章 波式和射线式传感器 第一节 超声波式传感器 第二节 微波式传感器 第三节 射线式传感器 第一节 超声波式传感器 一、超声波及其物理性质 频率在16~2×104Hz之间的机械波,能为人耳所闻,称为声波;低于16Hz的机械波称为次声波;高于2×104Hz的机械波,称为超声波。如图 超声波在液体、固体中衰减很小,穿透能力强,特别是对不透光的固体,超声波能穿透几十米的厚度。超声波从一种介质入射到另一种介质时,在介质面上会产生反射、折射和波型转换等现象。 这些特性使它在检测技术中获得了广泛的应用,如超声波无损探伤、厚度测量、流速测量、超声显微镜及超声成像等。 1.超声波的波型及其转换 由于声源在介质中施力方向与波在介质中传播方向的不同,声波的波型也不同。 ①纵波:质点振动方向与波的传播方向一致的波,称为纵波。(固体、液体和气体中传播) ②横波:质点振动方向垂直于传播方向的波,称为横波。(固体中传播) ③表面波:质点的振动介于纵波和横波之间,沿着表面传播,振幅随深度增加而迅速衰减的波,称为表面波。(固体的表面传播) 当纵波以某一角度入射到第二介质(固体)的界面上时,除有纵波的反射、折射以外,还发生横波的反射及折射。在某种情况下,还能产生表面波。各种波型都符合反射及折射定律。 传播速度,取决于介质的弹性常数及介质的密度。 由于气体和液体的剪切模量为零,所以超声波在气体和液体中没有横波,只能传播纵波。气体中的声速344m/s、液体中声速在900~1900m/s。在固体中,纵波、横波和表面波三者的声速有一定的关系,通常可认为横波声速为纵波声速的一半,表面波声速约为横波声速的90%。 2.超声波的反射和折射 声波从一种介质传播到另一介质,在两介质的分界面上将发生反射和折射,见图 (1)反射定律 入射角α的正弦与反射角α′的正弦之比等于波速之比。当入射波和反射波的波型相同、波速相等时,入射角α等于反射角α′。 (2)折射定律 入射角α的正弦与折射角β的正弦之比等于入射波中介质的波速c1与折射波中介质的波速c2之比,即 3.声波的衰减 声波在介质中传播时,随着传播距离的增加,能量逐渐衰减。其声压和声强的衰减规律如下: px,lx——平面波在x处的声压和声强; p0,l0——平面波在x=0处的声压和声强; α——衰减系数。 声波在介质中传播时,能量的衰减,取定于声波的扩散、散射和吸收。 在理想介质中,声波的衰减仅来自于声波的扩散,就是随着声波传播距离的增加,在单位面积内声能将要减弱。 散射衰减就是声波在固体介质中颗粒界面上散射,或在流体介质中有悬浮粒子使超声波散射。 而声波的吸收是由介质的导热性、粘滞性及弹性滞后等造成的。吸收随声波频率的升高而增高。 二、超声波传感器的应用 1.超声波传感器 为了以超声波作为检测手段,必须产生超声波和接收超声波。完成这种功能的装置就是超声波传感器,习惯上称为超声波换能器,或超声波探头。超声波发射探头发出的超声波脉冲在介质中传到相介面经过反射后,再返回到接收探头,这就是超声波测距原理。 超声波探头常用的材料是压电晶体和压电陶瓷,这种探头统称为压电式超声波探头。 它是利用压电材料的逆压电效应来工作的。逆压电效应将高频电振动转换成高频机械振动,以产生超声波,可作为发射探头。而利用正压电效应则将接收的超声振动转换成压电信号,可作为接收探头。 超声波探头的具体结构如图 超声波探头结构 a)发射探头 b)接收探头 1—导线 2—压电晶片 1—导线 2—弹簧 3—音膜 4—锥形罩 3—压电晶片 4—锥形罩 2.超声波测厚 超声波测量金属零件的厚度,具有测量精度高,测试仪器轻便,操作安全简单,易于读数及实行连续自动检测等优点。 超声波测厚常用脉冲回波法。脉冲回波法检测厚度的工作原理如图 如果超声波在工件中的声速v是已知的,设工件厚度为δ,脉冲波从发射到接收的时间间
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