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第2章 线性位移传感器及应用 ● 2.1 电阻式传感器 ● 2.2 电容式传感器 主要内容: 1.应变式传感器的组成 2.电阻应变片的灵敏度 3.电阻应变片的结构类型 4. 应变电桥的特性 2.1 电阻式传感器 2.1.1 应变式传感器 1.应变式传感器的组成 表2-1 应变片主要技术参数 2.3 电感式传感器 (1)变气隙长度式电感传感器 电感L与l0气隙长度成反比,因此,其线性度差、示值范围窄、自由行程小,常用于直线小位移的测量,及结合弹性敏感元件构成压力传感器、加速度传感器等。 (2)变气隙截面式电感传感器 L与S0成正比。因此,变截面式传感器具有良好的线性度、自由行程大、示值范围宽,但灵敏度较低,通常用来测量比较大的直线位移和角位移。 (3)差动式结构 为了扩大示值范围和减小非线性误差,可采用差动结构,差动式有两个线圈L1和L2,将它们接在电桥的相邻臂,构成差动电桥,不仅可使灵敏度提高一倍,而且使非线性误差大为减小。 2.3.2 差动变压器 2.4.2 电涡流式传感器的结构 2.4.3 电涡流传感器的转换电路 2.7 磁敏传感器 磁敏传感器是指物性型磁传感器,它是利用导体或半导体的磁电转换原理,将磁场信息变换成相应电信号的元器件。目前应用最广泛的是半导体磁敏元器件,包括霍尔元件,磁阻元件,磁敏二极管,磁敏晶体管及磁敏集成电路等。此外,强磁性金属制作的磁敏元件,韦干特磁敏传感器及超导金属制成的约瑟夫逊超导量子干涉器件(SQUID)等,也是近年来开发的极重要的磁敏传感器。 图2-30 霍尔元件 a)霍尔效应原理图 b)图形符号 c)外形 1.霍尔效应与霍尔元件 (1)霍尔效应 霍尔电势 (2)霍尔元件 2.集成霍尔传感器 集成霍尔传感器输出信号的形式可分为线性型和开关型两类。如图2-31所示,线性集成霍尔传感器输出模拟电压与外加磁场呈线性关系;开关集成霍尔传感器输出具有迟滞特性,驱动电路为集电极开路的三极管。线性集成霍尔传感器用于无触点电位器、无刷直流马达、速度传感器和位置传感器等;开关集成霍尔传感器用于键盘开关、接近开关、速度传感器和位置传感器。霍尔集成电路有扁平封装,DIP封装和软封装几种。 线性集成霍尔传感器分单端输出和双端输出(差分输出)两种。UGN-3501为典型的单端输出集成霍尔传感器,是一种扁平塑料封装的三端元件,脚1(VCC)、2(GND)、3(OUT),有T、U两种型号,其区别仅是厚度不同。T型厚2.03mm,U型厚1.45mm。UGN-3501T在±0.15T磁感应强度范围有较好的线性,超过此范围呈饱和状态。典型的双端输出集成霍尔传感器型号为UGN-3501M,8脚DIP封装,脚1和8(差动输出),2(空),3(VCC),4(地),5、6、7间接一调零电位器,对不等位电势进行补偿,还可以改善线性,但灵敏度有所降低。根据测试,当第5脚和第6脚间外接电阻R5-6=100 Ω时,电路有良好的线性。随R5-6阻值减小,电路的输出电压升高,但线性度下降。因此,若允许不等位电势输出,则可不接电位器。 图2-31 霍尔集成电路外型尺寸、内部电路和输出特性 a)模拟型 b)开关型 c)UGN3501M 3.霍尔式传感器的应用领域 由式(2-27)可得出霍尔式传感器具有以下几个方面的应用。 ①维持激励电流I不变,可构成磁场强度计、霍尔转速表、角位移测量仪、磁性产品计数器、霍尔式角编码器以及基于测量微小位移的霍尔式加速度计、微压力计等。 ②当I、B两者都为变量时,可构成模拟乘法器、功率计等。保持磁感应强度B恒定,可做成过电流检测装置等。 4.霍尔式位移传感器 利用霍尔元件构成位移传感器的关键是建立一个线性变化的磁场,如图2-31所示。若保持控制电流I不变,则输出霍尔电势的变化为: 式中,K与霍尔灵敏度系数、控制电流、梯度磁场成正比。可见,输出霍尔电势与位移量x成线性关系,且其极性反映位移的方向,适用于微位移测量。若将霍尔片与压力弹性元件相连,可构成微压力传感器。 2.7.2 集成磁敏电阻传感器(阅读) 小结: 1.压电效应 2.压电材料及其压电特性 3.电荷放大器 4.超声波的性质 5.超声波探头 6.霍尔式传感器 作业:思考2-10、2-11、2-12、2-13 2.8 光电式传感器 要点: 1.光电效应 2.光电元件 3.光电传感器的类型 2.8.1 光的知识 1.光的电磁说 2.光的量子说 2.8.2 光电效应 当物质受光照后,物质的电子吸收了光子的能量所产生的电现象称为光电效应。光电效应分外光电效应和内光电效应。 1.外光电效应 外光电效应即光电子发射效应,在光的作用
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