传感器及应用第2版 教学课件 作者 王煜东 主编理论课教案 5第2章5、6、7.docVIP

2.5 压电式传感器 特点：力敏、有源、可逆，体积小、重量轻、精度高、灵敏度高。 测量：应力、加速度等可变换成力的物理量，超声波。 2.5.1 压电材料与压电效应 压电效应： 逆压电效应： 1.石英晶体的压电效应 石英晶体的结构 正六棱柱状。光轴(z轴) ，电轴(x轴)， 机械轴(y轴)。 （1）压电晶体切片 X切族，Y切族。 （2）纵向压电效应 Qxx=d11Fx （3）横向压电效应 Qxy=d12Fy d12==-2.31[] 2.压电陶瓷的压电效应 称为纵向压电系数，可达几十至数百。 3.高分子压电材料（PVDF） PVDF化学稳定性和耐疲劳性高、吸湿性低，并有良好的热稳定性。 2.5.2 电荷放大器 1.压电元件的等效电路和电路符号 2.电荷放大器及其下限截止频率 实际的电荷放大器由电荷转换级、适调放大级、低通滤波级、电压放大级、过载指示电路和功放级六部分组成。 2.6 超声波传感器 超声波：频率高于20kHz的种机械波称为超声波。它方向性好，穿透力强，遇到杂质或分界面会产生显著的反射。 2.6.1 超声波的传输特性 超声波的频率越高，就越接近光学的某些特性(如反射、折射)。 超声波类型：纵波、横波和表面波。 （1）传播速度 即声速C=λf。 （2）超声波的衰减 超声波在中传播时按指数规律衰减。 （3）超声波的反射与折射 （4）超声波的波形转换 2.6.2 超声波换能器 按原理有压电式、磁致伸缩式、电磁式等，其中压电式最常用。按工作方式有单探头和双探头，单探头分为直探头、斜探头。 1.直探头 2.斜探头 3.双探头 4.应用于空气中传播的超声波传感器 2.7 磁敏传感器 常用元器件：霍尔元件，磁阻元件，磁敏二极管，磁敏晶体管及磁敏集成电路等。 优点：灵敏度高、可靠性好、体积小，耗电少、寿命长、价格低，易于集成化等。 应用：测量磁场，磁通量，电流及电功率等电磁量，检测位移、转速及加速度等非电磁量，用作非接触开关、无刷电机、各种运算器、混频器和调制器等。 2.7.1 霍尔式传感器 霍尔式传感器组成：霍尔元件，磁场和电源。 霍尔元件理论基础：霍尔效应。 1.霍尔效应与霍尔元件 （1）霍尔效应 （2）霍尔元件 霍尔元件的材料：N型硅、锑化铟(InSb)、砷化铟(InAs)，N型锗(Ge)等。 霍尔元件的封装：非导磁性金属、陶瓷、塑料或环氧树脂。霍尔元件的电路符号。 2.集成霍尔传感器 组成：霍尔元件、放大器、稳压电源、功能电路及输出电路。 类型：线性型和开关型两类。线性集成霍尔传感器分单端输出和双端输出。 应用：线性集成霍尔传感器用于无触点电位器、无刷直流马达、速度传感器和位置传感器等。开关集成霍尔传感器用于键盘开关、接近开关、速度传感器和位置传感器。 封装：扁平封装、双列直插封装和软封装几种。UGN-3501为单端输出，扁平塑料封装的三端元件，脚1（VCC）、2（GND）、3（OUT）。UGN-3501M为双端输出，8脚双列直插封装，脚1和8（差动输出），2（空），3（VCC），4（地），5、6、7间接一调零电位器，对不等位电势进行补偿，还可以改善线性，但灵敏度有所降低。根据测试，当R5-6=100Ω时有良好的线性，随阻值减小，输出电压升高，但线性度下降。 3.霍尔式传感器的应用领域 （1）维持激励电流I不变 磁场强度计、霍尔转速表、角位移测量仪、磁性产品计数器、角编码器、加速度计、微压力计等。 （2）当I、B两者都为变量时 模拟乘法器、功率计等。保持磁感应强度B恒定，可做成过电流检测装置等。 4.霍尔式位移传感器 梯度磁场、霍尔元件及电源组成。 压力传感器、接近开关等，参阅后面相关章节。 2.7.2 集成磁敏电阻传感器 传感器 第 3 页 共 3 页 6 B/T UGN 3501 a) 1 2 3 4.5mm×4.5mm×2mm 1 -0.15 -0.10 2 3 0.03 （mV） KH[mV／(mA·T)] cosθ （mV） +UCC UO GND 2 0.10 4 UCC=10V T=25℃ RL=10kΩ -0.05 0.15 0 0.05 UO/V 0.025 0.02 0.015 0.01 0 UOM UOL UO/V B/T GND 3 UO 2 +UCC 1 R 1 2 3 4.5mm×4.5mm×2mm UGN 3020 b) =100Ω =15Ω 2.5 2.0 1.5 1.0 0.5 0.28 0.20 0.12 0.04 0 差动输出电压UH/V B/T R5-6=0Ω 5 6 3 4 7