传感器及应用第2版 教学课件 作者 王煜东 主编理论课教案 9第3章3、7.docVIP

3.3 光栅传感器及应用 光栅是根据莫尔条纹原理制成的数字式传感器，广泛应用于数控机床等闭环系统及精密位移测量，只要能够转换成位移的物理量，如速度、加速度、振动、变形等，均可测量。 3.3.1 光栅的类型与结构 【类型】透射光栅和反射光栅，黑白光栅（辐射光栅）和相位光栅（炫耀光栅）；直线光栅和圆光栅。 【结构】黑白透射直线光栅是在镀有铝箔的光学玻璃上，均匀地刻上许多透光栅线。设栅线宽为a，线间缝宽为b，a+b=W称为光栅节距(栅距)。目前常用10、25、50、100、250线/毫米。使用时，长光栅运动，称为标尺光栅；短光栅固定，称为指示光栅。 【光栅副】如图3-10所示是直线黑白透射光栅读数头布置与截面图。光源（LED）通过光栅副形成莫尔条纹，由光敏三极管转换成电信号。从截面图看出，标尺光栅牢固地安装在一个坚固的刚性框架内，与指示光栅和读数头构成组件，以便于快速地安装到机床的相对运动部件上。刚性框架上有良好的密封，可防止油污、尘埃和切屑等损害标尺光栅。 3.3.2 莫尔条纹的形成原理和特点 1.莫尔条纹的形成原理 对于栅距远大于光波长的粗光栅，可利用几何光学的遮光原理来解释。如图3-11所示。 2.莫尔条纹的宽度 由图3-11b可求出：B≈W(mm)/θ(弧度) 3.莫尔条纹的特点 ①对位移的光学放大作用：②连续变倍的作用：③对光栅的刻线的误差均衡作用： 4.莫尔条纹的移动方向 当主光栅沿栅线垂直方向移动时，莫尔条纹沿着夹角θ平分线方向移动，见表3-2。 标尺光栅相对指示光栅的转角方向 标尺光栅移动方向 莫尔条纹移动方向 顺时针方向 向左 向上 向右 向下 逆时针方向 向左 向下 向右 向上 5.莫尔条纹测量位移的原理 光栅每移过一个栅距W，莫尔条纹就移过一个间距B。通过测量莫尔条纹移过的数目，即可得出光栅的位移量。X=N·W 。 3.3.3 直线光栅在机床上的安装与调整 1.直线光栅在机床上的安装 【例】A—R／5型光栅传感器在机床上的安装。 （1）光栅组件的尺寸和安装数据 如图3-13所示： （2）光栅组件的安装要素 如图3-14所示，1为读数头外壳铸件，2为标尺架，3为将标尺壳固定到燕尾板上的安装螺丝，4为对准托架，5为燕尾板。 （3）光栅组件在机床纵向坐标上安装的两种方法 如图3-15示，图a是在读数头和滑板之间加垫；图b是在燕尾板和滑板之间的每一安装孔下加垫，以使燕尾板远离工作台。 （4）光栅组件在机床毛面上的安装 在机床上没有加工好的安装面时，建议采用如图3-16所示的顶／压螺丝方法。图中箭头所指的表面应平行于工作台的运动方向。 （5）在机床上安装组件的两种方法 如图3-17示，图a为在滑块上有足够的安装面，直接用垫块支撑并经螺钉顶起读数头。图b为在滑块上没有足够的安装面，在滑块上安装一个支架支撑并经螺钉顶起读数头。 2.光栅信号的调整 光栅信号的调整包括光量调整、直流偏移调整和相位调整等，其中相位调整最重要。 （1）光栅尺的安装调整 标尺光栅和指示光栅面要平行地安装，间隙变化不要超过0.2mm。并在全行程上标尺光栅和读数头指示光栅不接触。 （2）光量调整 读数头上有4个光量调整螺钉a、b、c、d，分别遮挡4相光敏三极管V1、V2、V3、V4的光量。调整螺钉a和c为一组正弦相，b和d为一组调整余弦相。若同时按相同比例旋进一对调整螺丝，则输出信号的幅值减小；若同时旋出，则幅值增大。信号输出幅值一般为8～9VP-PVP-P。若4个调整螺钉均衡地、对称地全部旋出时，振幅处于过小或过大状态，则应调整光亮旋钮。 （3）前置放大器的偏置调整 对每数字式位置传感器各有对应的数显表配套使用。目前已有兼容式数显表。 1.光栅数显表的基本原理 不论是长光栅测量系统，还是圆光栅测量系统，数显表的基本构成是类似的。 （1）光栅数显表的基本构成 如图3-33所示,一般光栅数显表主要组成部分有：细分电路，方向判别电路（辨向电路），计数、显示电路，绝对零位电路，功能电路。 （2）光栅数显表的基本电路 目前，光栅传感器的输出信号有两种：一种是相位差为90°的两路方波信号，激励源的幅值有3～5V和10～12V两种；第二种是相位依次相差90°的四路正弦波信号，幅值为1Vp-p，此外还有一个绝对零位脉冲信号输出。它通常是一个脉宽略窄于光栅栅距的矩形波。上述信号分别由判向和细分电路进行处理。 ①辨向电路： 为了判别移动的方向，必须利用光栅传感器输出的两路相位差90°的输出信号。具体的方向判别电路如图3-34所示。电路工作原理如下： 当光栅副的标尺光栅向右或向左移动时，莫尔条纹向上或向下运动，信号C比S超前或滞后π/2。门1或