传感器技术及其工程应用 教学课件 作者 金发庆 第11章 智能传感器.pptVIP

若在两个叉指换能器之间的声表面波传播通道上铺设待测化学敏感膜， 在测量的过程中，膜的质量的变化也会引起声表面波振荡频率改变。 计算得到化学敏感膜质量的变化Δm。 Bf0Δm＝Δf／f0 B是与压电晶体衬底材料有关的参量。 声表面波叉指换能器与膜技术结合，可以开发出叉指换能器微型生物传感器。 11.8.4 反射波阵列式微加速度传感器 图11-18所示， 压电薄膜上做有叉指换能器，同时做有多晶硅质量块。 质量块下方有反射体，质量块紧紧贴近压电薄膜（距离小于一个声波波长），由支撑体支撑。吸收体做在最左边。 图11-18 叉指换能器式微加速度传感器 天线接收空中的电磁波信号，转换为高频振荡信号激励叉指换能器， 在叉指换能器的叉指之间产生高频振荡信号频率的电场， 由于逆压电效应在叉指换能器的叉指之间产生声表面波， 声表面波延压电薄膜表面传播。 多晶硅质量块下方的反射体阵列将这些声表面波反射回叉指换能器， 反射的相位取决于反射体的位置。 在受到加速度的作用下，支撑梁的弹性引起多晶硅质量块移动， 也就引起反射体移动，反射波的相位随之改变。 测出反射的声表面波产生的高频振荡信号的相位，即可测得加速度。 图11-19 所示为远程读出微加速度传感器系统框图。 系统天线接收到反射信号后经收发开关送频率计或相位计， 与原高频振荡信号比较后测出频率或相位变化， 由计算机计算和输出加速度量值。 计算机 频率及相位变化测量 收发开关 高频振荡信号 反射体 IDT 系统天线 器件天线 图11-19 远程读出微加速度传感器系统 11.8.5 微加速度传感器和微陀螺仪组合 用叉指换能器还可以做成微加速度传感器和微陀螺仪的组合， 如图11-20所示。 图11-20 在一个晶片上的加速度传感器和陀螺仪组合 图中，纵向一对叉指换能器（IDT）和横向的声表面波谐振器呈直角放置，组成了微陀螺仪。 横向的声表面波谐振器由反射体、传输间隔、叉指换能器（IDT）、多晶硅质量块、叉指换能器（IDT）、传输间隔、反射体组成。 右边的叉指换能器（IDT）和多晶硅质量块同时还组成了微加速度传感器。 该叉指换能器（IDT）上输入高频振荡信号，转换为声表面波，延压电薄膜表面向左传输， 多晶硅质量块下方的反射体阵列将这些声表面波反射回该叉指换能器，转换为高频振荡信号输出。 在受到加速度的作用下，支撑梁的弹性引起多晶硅质量块移动， 也就引起反射体移动，反射波的相位随之改变。 测量由该叉指换能器（IDT）上输出的高频振荡信号相位，可获得加速度的量值。 微陀螺仪的工作是这样的： 由左边的输入IDT上输入一个已知功率的高频振荡信号，声表面波谐振器产生谐振，转换为声表面波， 延压电薄膜表面向右传输，遇到多晶硅质量块的下方安置的陀螺扰动质量块阵列， 根据器件的旋转和角速度，产生次级波，次级波变成向纵向传输的声表面波。 由于逆向压电效应，该纵向传输的声表面波在纵向叉指换能器（IDT）上产生高频振荡信号， 取出该高频振荡信号可测得旋转方向和角速度。 11.6 实训 11.6 实训 智能压阻压力传感器，如图11－21所示。其中作为主传感器的压阻压力传感器用于压力测量，温度传感器用于测量环境温度，以便进行温度误差修正。 做印制电路板、装配元件、编制单片机程序完成该智能压阻压力传感器，并进行性能测试。 压力 传感器 温度 传感器 放大器 放大器 多 路 转 换 器 单 片 机 显示器 扩展 键盘 A / D 图11－21 智能压阻压力传感器组成框图 飞机在飞行的过程中，使用机载雷达识别出地面预先精心设置的某些地理位置，再用信标机把飞越每个地理位置的时间和高度向雷达信标应答。 计算机和显示器等监视和控制设备，接收到飞机上和地面多部各种类型雷达检测数据，进行数据融合 得到飞机位置、航向、速度和属性等信息，利用这些信息修正飞机对指定航线的偏离，防止相撞并调度飞机流量。 11.7 模糊传感器 11.7 模糊传感器