传感器技术及实训 教学课件 作者 陈东群 第2章1.PPTVIP

第2章 电阻、电感、电容传感技术 本章学习电阻、电感、电容式传感器的原理及应用；掌握电阻、电感、电容传感器主要参数及基本电路；了解电阻、电感、电容传感器工程应用，通过实训了解使用方法。 2.1电阻式传感器 把位移、力、压力、加速度、扭矩等非电物理量转换为电阻值变化的传感器。它主要包括电阻应变式传感器、电位器式传感器等。 导体或半导体材料在外界力的作用下，会产生机械变形，其电阻值也将随着发生变化，这种现象称为应变效应。 2.1.1电位器式传感器 1．电位器式传感器的结构及分类 360度圆盘形电位器 右图所示的360度圆盘形电位器的中间焊片为滑动片，右边焊片接地，左边焊片接电源。 2．电位器式传感器的原理 在左图中，当电位器的两端加上电源后，电位器就组成分压比电路，它的输出量是与压力成一定关系的电压Uo 。 分压比电路的计算公式如下： 直滑电位器式传感器的输出电压Uo与滑动触点C的位移量x成正比： 3．电位器式传感器应用压力传感器的外形及内部结构 弹簧管放大图 被测量通过敏感元件转换后，再经传感元件转换成电参量 在右图中， 电位器为传感元件，它将角位移转换为电参量-----电阻的变化（ΔR） 2.1.2电阻应变式传感器 应变式传感器是基于测量物体受力变形所产生应变的一种传感器，最常用的传感元件为电阻应变片。 电阻应变片主要有金属和半导体两类，金属应变片有金属丝式、箔式、薄膜式之分。 半导体应变片具有灵敏度高（通常是丝式、箔式的几十倍）、横向效应小等优点。 1.工作原理应变片的工作原理 设有一长度为L、截面积为A、半径为r、电阻率为?的金属单丝，它的电阻值R可表示为 ? 当沿金属丝的长度方向作用均匀拉力（或压力）时，上式中?、r、l都将发生变化，从而导致电阻值R发生变化。例如金属丝受拉时，l将变长、r变小，均导致R变大；又如，某些半导体受拉时，?将变大，导致R变大。 实验证明，电阻丝及应变片的电阻相对变化量?R ? R与材料力学中的轴向应变?x的关系在很大范围内是线性的，即 微应变(με) 对于不同的金属材料，K 略微不同，一般为2左右。而对半导体材料而言，由于其感受到应变时，电阻率? 会产生很大的变化，所以灵敏度比金属材料大几十倍。 材料力学中，在弹性范围内，金属丝受拉力时，沿轴向伸长，沿径向缩短，轴向应变和径向应变的关系可表示为 ： （2-6） μ为电阻丝材料的泊松比， 负号表示应变方向相反。 定义电阻丝的灵敏系数（物理意义）为单位应变所引起的电阻相对变化量。其表达式为： （2-7） 大量实验证明，在电阻丝拉伸极限内， 电阻的相对变化与应变成正比，即K为常数。 2.应变片的种类与结构 应变片可分为金属应变片及半导体应变片两大类。前者可分成金属丝式、箔式、薄膜式三种。目前箔式应变片应用较多。金属丝式应变片使用最早，有纸基、胶基之分。由于金属丝式应变片蠕变较大，金属丝易脱胶，有逐渐被箔式所取代的趋势。但其价格便宜，多用于应变、应力的大批量、一次性试验。 箔式应变片中的箔栅是金属箔通过光刻、腐蚀等工艺制成的。箔的材料多为电阻率高、热稳定性好的铜镍合金。箔式应变片与片基的接触面积大得多，散热条件较好，在长时间测量时的蠕变较小，一致性较好，适合于大批量生产。还可以对金属箔式应变片进行适当的热处理，使其线胀系数、电阻温度系数以及被粘贴的试件的线胀系数三者相互抵消，从而将温度影响减小到最小的程度，目前广泛用于各种应变式传感器中。 箔式应变片的外形 半导体应变片及金属丝式应变片的结构 半导体应变片外形 应变片主要性能指标举例 上表中，哪几个型号是半导体应变片？依据是什么？ 应变片的粘贴： 1. 去污：采用手持砂轮工具除去构件表面的油污、漆、锈斑等，并用细纱布交叉打磨出细纹以增加粘贴力 ，用浸有酒精或丙酮的纱布片或脱脂棉球擦洗。 2.贴片：在应变片的表面和处理过的粘贴表面上，各涂一层均匀的粘贴胶 ，用镊子将应变片放上去，并调好位置，然后盖上塑料薄膜，用手指揉和滚压，排出下面的气泡 。