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第6章 气、湿敏传感器 学习要点 ①掌握气敏传感器的主要特性、基本工作原理。 ②了解气敏传感器的组成、特性参数,理解它们 的测量、应用电路。 ③掌握湿敏传感器的主要特性、基本工作原理。 ④了解湿敏传感器的组成,理解它们的测量、应 用电路 6.1气敏传感器 6.1.1半导体气敏传感器 利用待测气体与半导体(主要是金属氧化物)表面接触时,产生的电导率等物性变化来检测气体 。 半导体气敏元件有N型和P型之分。N型在检测时阻值随气体浓度的增大而减小;P型阻值随气体浓度的增大而增大。 目前国产的气敏元件有2种。一种是直热式,加热丝和测量电极一同烧结在金属氧化物半导体管芯内;另一种旁热式,旁热式气敏元件以陶瓷管为基底,管内穿加热丝,管外侧有两个测量极,测量极之间为金属氧化物气敏材料,经高温烧结而成。 1. 电阻型气敏器件 按其结构,可分为烧结型,薄膜型和厚膜型三种 (1)烧结型 有直热式和旁热式两种结构 (2)薄膜型 薄膜型气敏器件的制作首先须处理基片(玻璃石英式陶瓷);焊接电极,之后采用蒸发或溅射方法在石英基片上形成一薄层氧化物半导体薄膜 (3)厚膜型 以上三种气敏器件都附有加热器。在实际应用时,加热器能使附着在控测部分上的油雾,尘埃等烧掉,同时加速气体的吸附,从而提高了器件的灵敏度和响应速度,一般加热到200~400℃,具体温度视所掺杂质不同而异。 这种气敏器件的优点是:工艺简单,价格便宜,使用方便;对气体浓度变化时的响应快;即使在低浓度(3000mg/kg)下,灵敏度也很高。其缺点在于:稳定性差,老化较快,气体识别能力不强,各器件之间的特性差异大等。 2. 非电阻型气敏器件 (1)二极管气敏传感器 这种传感器可用来检测氢气 (2)MOS二极管气敏器件 金属-氧化物-半导体(MOS)二极管的结构和等效电路如图所示 图2-24 MQN型气敏电阻结构及测量电路 气敏电阻外形 酒精传感器 酒精传感器的选择性 3. 半导体气敏元件的特性参数 (1)气敏元件的电阻值 电阻型气敏元件在常温下洁净空气中的电阻值 (2)气敏元件的灵敏度 1)电阻比灵敏度 2)气体分离度 3)输出电压比灵敏度 (3)气敏元件的分辨率 表示气敏元件对被测气体的识别(选择)以及对干扰气体的抑制能力 (4)气敏元件的响应时间 表示在工作温度下,气敏元件对被测气体的响应速度 (5)气敏元件的恢复时间 表示在工作温度下,被测气体由该元件上解吸的速度,一般从气敏元件脱离被测气体时开始计时,直到其阻值恢复到在洁净空气中阻值的63%时所需时间。 (6)初期稳定时间 (7)气敏元件的加热电阻和加热功率 气敏半导体的灵敏度特性曲线 6.1.2 红外吸收式气敏传感器 1. 测量原理 光是由一系列单色光组成,红外光即是由一系列处于红外频率的单色光组成。大部分非对称双原子和多原子分子气体(如CH4,H20,NH3,C0,C2H2,SO2,NO和NO2等)在红外区都有自己特征频率的吸收频率。每种气体都有吸收自己对应频率红外光能量的性质,气体吸收红外光最强的频率就称作该气体的特征吸收频率。 光线能量减弱的程度与气体浓度和光线在气体中经过的路程成比例,而这个关系服从朗伯一比尔定律。 式中 一一气体吸收系数; 一一待测气体浓度; 一一光程长度。 光强在气体介质中随浓度及厚度按指数规律衰减。吸收系数取决于气体特性,各种气体的吸收系数互不相同。对同一气体,吸收系数则随入射波长而变。若吸收介质中含 种吸收气体,则式(6-5)应改为 2.优点分析 (1)选择性好 (2)不易受有害气体的影响而中毒、老化 (3)响应速度快、稳定性好 (4)防爆性好 (5)信噪比高,使用寿命长、测量精度高 (6)应用范围广 6.1.3 气敏传感器的应用举例家庭用煤气报警器 家庭用液化气报警器 一氧化碳传感器 其他气体传感器 1)家用煤气、液化石油气泄漏报警器 2)酒精检测报警器 酒精测试仪 呼气管 3)二氧化钛氧浓度传感器 图2-26 TiO2氧浓度传感器结构及测量转换电路 氧浓度传感器外形 汽车尾气分析 有毒气体传感器的使用 第四节 湿敏电阻传感器 绝对湿度:是指大气中水汽的密度,即每一立方米大气中所含水汽的质量(克数)。
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