传感器技术及实训 教学课件 作者 陈东群 第7章1.PPTVIP

第7章 数字传感技术 本章学习几种常用数字式位置传感器的结构、原理，如角编码器、光栅传感器、磁栅传感器等，并讨论他们在直线位移和角位移中测量、控制的应用。 7.1 光栅传感器 7.1.1 光栅的类型和结构 光栅的外形及结构 光栅的外形及结构（续） 反射式光栅 透射式光栅 透射式圆光栅 7.1.2光栅传感器的基本工作原理 莫尔条纹演示 莫尔条纹光学放大作用举例 （2）莫尔条纹移动方向 若光栅1沿着刻线垂直方向向右移动时，莫尔条纹将沿着光栅2的栅线向上移动；反之，当光栅1向左移动时，莫尔条纹沿着光栅2的栅线向下移动。 因此根据莫尔条纹移动方向就可以对光栅1运动进行辨向。 (3) 误差的平均效应 莫尔条纹由光栅的大量刻线形成，对线纹的刻划误差有平均抵消作用，能在很大程度上消除短周期误差的影响。  7.1.3光栅传感器的数显装置 计量光栅作为一个完整的测量装置包括光栅读数头、光栅数显表两大部分。光栅读数头利用光栅原理把输入量（位移量）转换成响应的电信号。光栅数显表是实现细分、辨向和显示功能的电子系统。 光电转换装置（光栅读数头）如图7-5所示，主要由主光栅、指示光栅、光路系统和光电元件等组成。 光栅输出信号（电压正弦波） 脉冲细分 光栅细分举例 辨向电路及波形 如果传感器只安装一套光电元件，则在实际应用中，无论光栅作正向移动还是反向移动，光敏元件都产生相同的正弦信号，无法分辨位移的方向。 正向运动产生加法脉冲 正向运动时，与门IC2无“减”计数脉冲输出。 为光栅设计的专用数据转接器（光栅计数卡） 为光栅设计的专用信号处理单元 （光栅插补器） 光栅在机床上的安装位置（2个自由度） 光栅在机床上的安装位置（3个自由度） 光栅在机床上的安装位置 （3个自由度）（续） 2自由度光栅数显表 3自由度光栅数显表 光栅数显表（续） 三座标数显表 SDS8-3E 光栅数显箱功能: 公制/英制转换绝对/相对转换线性误差补偿正反方向计算归零插值补偿到达目标值停机PCD圆周分孔200组零位记忆电蚀深度目标值显示实时工作位置显示掉电记忆 光栅数显表（续） 设定按键 安装有直线光栅的数控机床加工实况 作业p146:1、2、3、4 光栅是用于数控机床的精密检测装置，是一种非接触式测量。光栅位置检测装置的主要作用是检测位移量，如图7-10，并将检测的反馈信号和数控装置发出的指令信号相比较，若有偏差，经放大后控制执行部件，使其向着消除偏差的方向运动，直到偏差为零 图7-10 数控机床位置控制框图 * * 计量光栅可分为透射式光栅和反射式光栅两大类，均由光源、光栅副、光敏元件三大部分组成。计量光栅按形状又可分为长光栅和圆光栅。 尺身 尺身安装孔 反射式扫描头 （与移动部件固定） 扫描头安装孔 可移动电缆 防尘保护罩的内部为长磁栅 扫描头（与移动部件固定） 光栅尺 可移动电缆 固定 在透射式直线光栅中，把主光栅与指示光栅的刻线面相对叠合在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线保持很小的夹角θ。在两光栅的刻线重合处，光从缝隙透过，形成亮带；在两光栅刻线的错开处，由于相互挡光作用而形成暗带。 光栅的刻线宽度W 莫尔条纹的宽度L L(BH)≈W/θ ，（θ为主光栅和指示光栅刻线的夹角，弧度） 有一直线光栅，每毫米刻线数为50，主光栅与指示光栅的夹角? =1.8?，则： 分辨力? =栅距W =1mm/50=0.02mm=20?m （由于栅距很小，因此无法观察光强的变化） 莫尔条纹的宽度是栅距的32倍： L ≈W/θ = 0.02mm/（1.8? *3.14/180? ） = 0.02mm/0.0314 = 0.637mm 由于较大，因此可以用小面积的光电池“观察”莫尔条纹光强的变化。 细分点 余弦信号 正弦信号 零位信号 细分技术能在不增加光栅刻线数及价格的情况下提高光栅的分辨力。细分前，光栅的分辨力只有一个栅距的大小。采用4细分技术后，计数脉冲的频率提高了4倍，相当于原光栅的分辨力提高了3倍，测量步距是原来的1/4，较大地提高了测量精度。 细分前 细分后 有一直线光栅，每毫米刻线数为50，细分数为4细分，则： 分辨力? =W /4 =（1mm/50）/4 =0.005mm=5?m 采用细分技术，在不增加光栅刻线数（成本）的情况下，将分辨力提高了3倍。 例：某1