传感器技术及实训 教学课件 作者 陈东群 第7章2.PPTVIP

7.2 磁栅传感器 磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易于安装，测量范围宽可超过十几米，抗干扰能力强。磁栅可分为长磁栅和圆磁栅。长磁栅主要用于直线位移测量，圆磁栅主要用于角位移测量。磁栅传感器主要由磁尺、磁头和信号处理电路组成。 7.2.1磁栅的结构与类型 磁栅式传感器由磁栅、磁头和检测电路组成 磁栅的外形及结构 磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示 7.2.2磁栅传感器的基本工作原理 磁头输出的电势信号经检波，保留其基波成分，可用下式表示： 式中 ——感应电动势幅值； ——磁栅信号的节距； ——机械位移量。  1. 磁栅传感器的特点 1）录制方便，成本低廉。当发现所录磁栅不合适时可抹去重录， 2）使用方便，可在仪器或机床上安装后再录制磁栅，因而可避免安装误差； 3）可方便地录制任意节距的磁栅。例如检查蜗杆时希望基准量中含有π因子，可在节距中考虑。 2. 磁栅传感器的误差分析 （1）影响零位误差的主要因素 1）磁栅的节距误差； 2）磁栅的安装与变形误差； 3）磁栅剩磁变化所引起的零位漂移； 4）外界电磁场干扰等。 （2）影响细分误差的主要因素 1）由于磁膜不均匀或录磁过程不完善造成磁栅上信号幅度不相等； 2）两个磁头间距偏离1/4节距较远； 3）两个磁头参数不对称引起的误差； 4）磁场高次谐波分量和感应电动势高次谐波分量的影响。 7.2.4磁栅传感器的应用 1）可以作为高精度的测量长度和角度的测量仪器。由于可以采用激光定位录磁，而不需要采用感光、腐蚀等工艺，因而可以得到较高的精度，目前可以做到系统精度为±0.01mm/m，分辨率可达1μm～5μm。 2）可以用于自动化控制系统中的检测元件（线位移）。例如在三坐标测量机、程控数控机床及高精度、中型机床控制系统中的测量装置，均得到了应用。 7.2.4磁栅传感器的应用——鉴相型磁栅数显表的原理框图 磁栅测量系统 磁栅在磨床测长系统中的应用 作业p146:6、7 * * 磁栅式传感器由磁栅、磁头和检测电路组成，如图7-11所示。磁栅是在不导磁材料制成的栅基上镀一层均匀的磁膜，并录上间距相等、极性正负交错的磁信号栅条制成的。 磁尺 静态磁头 去信号处理电路 固定孔 7.2.3磁栅传感器的特点与误差分析 磁尺与磁头接触，使用寿命 不如光栅，数年后易退磁。 设置两个磁头的 意义何在？ 压板 磁头 磁尺 磁尺 磁头安装在何处？