传感器与检测技术 第2版 教学课件 作者 胡向东 第4章.pptVIP

4.3 电涡流电感式传感器（互感式） 4.3.1 工作原理 电涡流式传感器原理图 （a） 传感器激励线圈; （b） 被测金属导体 根据法拉第定律，当传感器线圈通以正弦交变电流I1时，线圈周围空间必然产生正弦交变磁场H1，使置于此磁场中的金属导体中感应电涡流I2，I2又产生新的交变磁场H2。 　　根据愣次定律， H2的作用将反抗原磁场H1，由于磁场H2的作用，涡流要消耗一部分能量，导致传感器线圈的等效阻抗发生变化。 　　 线圈阻抗的变化完全取决于被测金属导体的电涡流效应。 式中, r为线圈与被测体的尺寸因子。 测量方法： 如果保持上式中其它参数不变，而只改变其中一个参数， 传感器线圈阻抗Z就仅仅是这个参数的单值函数。通过与传感器配用的测量电路测出阻抗Z的变化量，即可实现对该参数的测量。 Z=F(ρ,μ,r,f,x) 传感器线圈受电涡流影响时的等效阻抗Z的函数关系式为 4.3.2 基本特性 电涡流式传感器简化模型 电涡流传感器简化模型中，把在被测金属导体上形成的电涡流等效成一个短路环，即假设电涡流仅分布在环体之内， 模型中h（电涡流的贯穿深度）可由下式求得： 式中, f为线圈激磁电流的频率。 　电涡流式传感器等效电路图 根据简化模型，可画出等效电路图。图中R2为电涡流短路环等效电阻，其表达式为 根据基尔霍夫第二定律，可列出如下方程： 　　解得等效阻抗Z的表达式为 线圈的等效品质因数Q值为 可见：因涡流效应，线圈的品质因素Q下降。 4.3.3 电涡流传感器测量电路 主要有调频式、 调幅式电路两种。 1. 调频式电路 传感器线圈接入LC振荡回路，当传感器与被测导体距离x改变时，在涡流影响下，传感器的电感变化，将导致振荡频率的变化，该变化的频率是距离x的函数，即f=L(x), 该频率可由数字频率计直接测量，或者通过f-V变换，用数字电压表测量对应的电压。 振荡器的频率为 为了避免输出电缆的分布电容的影响，通常将L、C装在传感器内。 此时电缆分布电容并联在大电容C2、C3上，因而对振荡频率f的影响将大大减小。 2. 调幅式电路 由传感器线圈L、电容器C和石英晶体组成。石英晶体振荡器起恒流源的作用，给谐振回路提供一个频率（f0）稳定的激励电流io，LC回路输出电压 式中, Z为LC回路的阻抗。 当金属导体远离或去掉时，LC并联谐振回路谐振频率即为石英振荡频率fo，回路呈现的阻抗最大， 谐振回路上的输出电压也最大；当金属导体靠近传感器线圈时，线圈的等效电感L发生变化，导致回路失谐，从而使输出电压降低，L的数值随距离x的变化而变化。因此，输出电压也随x而变化。输出电压经放大、 检波后， 由指示仪表直接显示出x的大小。 除此之外， 交流电桥也是常用的测量电路。 4.3.4 电涡流电感式传感器的应用 位移测量 振幅测量 转速测量 无损探伤 　　电感测微仪是用于测量微小尺寸变化很普遍的一种工具，常用于测量位移、零件的尺寸等，也用于产品的分选和自动检测。 　　测量杆与衔铁连接，工作的尺寸变化或微小位移经测量杆带动衔铁移动，使两线圈内的电感量发生差动变化，其交流阻抗发生相应的变化，电桥失去平衡，输出一个幅值与位移成正比、频率与振荡器频率相同、相位与位移方向对应的调制信号。如果再对该信号进行放大、相敏检波，将得到一个与衔铁位移相对应的直流电压信号。 　　这种测微仪的动态测量范围为 mm，分辨率为1 ，精度可达到3%。 4.2 差动变压器电感式传感器 （互感式） 把被测的非电量变化转换为线圈互感变化的传感器称为互感式传感器。这种传感器是根据变压器的基本原理制成的，并且次级绕组用差动形式连接， 故称差动变压器电感式传感器。 　　差动变压器电感式传感器的结构形式：变隙式、变面积式和螺线管式等。 　　在非电量测量中，应用最多的是螺线管式差动变压器， 它可以测量1～100mm机械位移，并具有测量精度高、灵敏度高、 结构简单、性能可靠等优点。 4.2.1 变隙差动变压器电感式传感器 1. 工作原理 假设：初级绕组N1a=N1b=N1，次级绕组和N2a=N2b=N2 两个初级绕组的同名端顺向串联，两个次级绕组的同名端则反相串联。 当没有位移时，衔铁C处于初始平衡位置，它与两个铁芯的间隙有δa0=δb0=δ0，则绕组N1a和N2a间的互感Ma与绕组N1b和N2b的互感Mb相等，致使两个次级绕组的互感电势相等，即e2a=e2b。由于次级绕组反相串联，因此，差动变压器输出电压Uo