传感器与检测技术 第2版 教学课件 作者 胡向东 第11章.pptVIP

湿敏传感器的定义 　就是一种能将被测环境湿度转换成电信号的装置 　主要由两个部分组成：湿敏元件和转换电路，除此之外还包括一些辅助元件，如辅助电源、温度补偿、输出显示设备等 一个理想的湿敏传感器应具备的性能 使用寿命长，稳定性好 灵敏度高，线性度好，温度系数小 使用范围宽，测量精度高 响应迅速 湿滞回差小，重现性好 能在恶劣环境中使用，抗腐蚀、耐低温和高温等特性好 器件的一致性和互换性好，易于批量生产，成本低 器件感湿特征量应在易测范围内 湿敏传感器的主要参数及特性 感湿特性 感湿特性为湿敏传感器特征量(如：电阻值、电容值等)随湿度变化的特性 湿度量程 湿敏传感器的感湿范围 灵敏度 湿敏传感器的感湿特征量(如：电阻值、电容值等)随环境湿度变化的程度，即湿敏传感器感湿特性曲线的斜率 湿滞特性 同一湿敏传感器吸湿过程（相对湿度增大）和脱湿过程（相对湿度减小）感湿特性曲线不重合的现象就称为湿滞特性。 响应时间 指在一定环境温度下，当被测相对湿度发生跃变时，湿敏传感器的感湿特征量达到稳定变化量的规定比例所需的时间。一般以相应的起始湿度到终止湿度这一变化区间的90%的相对湿度变化所需的时间来进行计算。 感湿温度系数 当被测环境湿度恒定不变时，温度每变化1℃，引起湿敏传感器感湿特征量的变化量，就称为感湿温度系数。 老化特性 老化特性是指湿敏传感器在一定温度、湿度环境下存放一定时间后，其感湿特性将会发生改变的特性。 湿敏传感器的分类 界限电流式湿敏传感器 湿敏传感器 电阻式 电容式 其它 电解质式 陶瓷式 高分子式 陶瓷式 高分子式 光纤湿敏传感器 二极管式、石英振子、SAW式、微波式、热导式等 　 湿敏传感器的分类 11.2.2 常用湿敏传感器的基本原理 电阻式湿敏传感器 电容式湿敏传感器 电阻式湿敏传感器 电阻式湿敏传感器是利用器件电阻值随湿度变化的基本原理来进行工作的，其感湿特征量为电阻值。 根据使用感湿材料的不同，电阻式湿敏传感器可分为： 电解质式 陶瓷式 高分子式 　　　电解质式（氯化锂）电阻湿敏传感器 氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生变化而制成的测湿元件。它由引线、基片、感湿层与电极组成。  氯化锂通常与聚乙烯醇组成混合体，在氯化锂（LiCl）溶液中，Li和Cl均以正负离子的形式存在，而Li＋对水分子的吸引力强，离子水合程度高，其溶液中的离子导电能力与浓度成正比。 当溶液置于一定温湿场中，若环境相对湿度高，溶液将吸收水分，使浓度降低，因此，其溶液电阻率增高。反之，环境相对湿度变低时，则溶液浓度升高，其电阻率下降，从而实现对湿度的测量。 湿敏电阻结构示意图 氯化锂湿度—电阻特性曲线 氯化锂湿敏元件的优点：滞后小，不受测试环境风速影响， 检测精度高达±５% 缺点：耐热性差，不能用于露点以下测量， 器件性能重复性不理想，使用寿命短 　　　陶瓷式电阻湿敏传感器 通常，用两种以上的金属氧化物半导体材料混合烧结而成为多孔陶瓷。这些材料有ZnO-LiO2-V2O5系、Si-Na2O-V2O5系、 TiO2-MgO-Cr2O3系、Fe3O4等，前三种材料的电阻率随湿度增加而下降，故称为负特性湿敏半导体陶瓷，最后一种的电阻率随湿度增加而增大，故称为正特性湿敏半导体陶瓷 1. 负特性湿敏半导体陶瓷的导电机理 由于水分子中的氢原子具有很强的正电场，当水在半导瓷表面吸附时，就有可能从半导瓷表面俘获电子，使半导瓷表面带负电 　　如果该半导瓷是Ｐ型半导体，则由于水分子吸附使表面电势下降，将吸引更多的空穴到达其表面，其表面层的电阻下降 　　若该半导瓷为Ｎ型，则由于水分子的附着使表面电势下降，如果表面电势下降较多，不仅使表面层的电子耗尽， 同时吸引更多的空穴达到表面层，有可能使到达表面层的空穴浓度大于电子浓度，出现所谓表面反型层，这些空穴称为反型载流子。 它们同样可以在表面迁移而表现出电导特性，使N型半导瓷材料的表面电阻下降 不论是Ｎ型还是Ｐ型半导体陶瓷，其电阻率都随湿度的增加而下降 几种负特性半导体陶瓷式湿敏传感器感湿特性 2. 正特性湿敏半导瓷的导电机理 正特性湿敏半导瓷的导电机理的解释可以认为这类材料的结构、电子能量状态与负特性材料有所不同。当水分子附着半导瓷的表面使电势变负时， 导致其表面层电子浓度下降，但这还不足以使表面层的空穴浓度增加到出现反型程度，此时仍以电子导电为主。于是，表面电阻将由于电子浓度下降而加大，这类半导瓷材料的表面电阻将随湿度的增加而加大。 通常湿敏半导瓷材料都是多孔的，表面电导占的比例很