高频介质阻挡无声放电中电子温度和电子能量分布的探极诊断.pdfVIP

高频介质阻挡元声放电中电予温度和 电子能量分布鑫勺探极诊断 最一吗徐莲毫￡商三保平 (东豆大学电子工程暮．南京210018) 摘要：用Lan鲫uir对称双探投和非对称双操极分别诊断在不同气体种类．不同气压 i，高额卉质匪拦无声放电申皂{：温厦和g-p能量分布。本艾概述了诊断技术的原蓬、 装置和实验嬖景。实验最明，这种鼓黾鲍毛子强度陵蓍气压的增加而减少，但明显高于 霜应气压下约兰漉惹毛毛子湿重： 一、引言 jr囊匡拦乏吾放专是一蕾罨臻娄型约气体兰号，属j!平暂态每离子体．蓑结构辱在 =二一是它西毛板f至少丐一个)是羲笔缀穷质景所覆蔓。最毛空篙塑带毫芯子三皂场作角 1霸毛子鬻沆和兰移运动蜒帝罨茬弓=沉耘=三绝缘开质量_二，所形匿曲壁晕雨抵消了磬毫 劫，若佳号亍繁磊毒王灭。三：=连是一和：夏黾焉：■叉器灭魏誓瑟芝茬，属无覃菽宅机墨荒 焉。昃喜=三至变乏场作歪下，蜀=乏万墨准芝续二辱状瑟。逆稃藏皂E曩广泛童犀亏二羔善 全戚f。l，絮卦与要!紫卦骛获得i”】，气体擞龙嚣曲激励}，环磊慑芋”!等方面。尤其是 羞几兰．等离子艺量子主泰夏苫震发是：”。2，矽。E三置’21考乏留万善葶豆示板匆唯一候兰 量。这萄=：二美兰离子馋至亍设筻二作规割就是舟曛足芝元声蜃黾。雪=，前E羲深入辩 i对所手夏五一荨i“_互号领：j兰差记、云ji霹于置三三重要酉三号兰支。 兰予i世赢乏矗墨；?夏暑皇：：曩百差初差乏筢冀慧了己苣，毒孽兰蚕鲁稃运霉手段宠 兰戋兰，三冬艽三子聂j芒呈z薹ji晨爱熏和乏1：景：：Z近似皇，黟．致仨莲论号析鲁罴与盖 三爱囊和冈三执墨亏旺五至乒。：二=z村采焉；；i醑冗jj手段诊断运和鼓毛甲鹭鬯子涅屡 司罨子能量芳市． 二、诊断原理 气佴敖毛现象是相当复杂的，它芏电源的电能转变成光、芦、电、比学等多种形式 蔓能量，其能量篆兰要输运看就是电子。它∞亳气{享导电运茬一两运动和颓繁碰撞，使 E|门在一是雒量舟而的状态下选到平蕾，萁毫{=的平均毙量可犀电子温厦最示。上述扣 无i鼓鼋也是这榉，只不乏芸毛亍温虞茸。毛孑乾量芳-彳i均随研嘲而受j乞：为方便是见， 这呈酹艽整个教毛周翥内敦黾爹量日0平均筐，墓兰，可采用重流诊瞬夏术。五星，E为 ：等多虚鬲郡注重E的效果(或产额)，这种诊断笺粱仍膏买用价筐： 常用日j诊断幻萎术百L=nm—nuir(皂)舞褫法、光谱弦、微渡注等．光谱注可方便选透 1 迂等离子体甲受激粒子鲍发射或吸收光谱呆皇嚣诊断这种受激j}2耋亍的能量状忑，恒必壹 予 不能直接反1史电亏二的能量状态。茵此为丁诊断葳鬯甲电子的能量状态，景简量的可行的 ^ 当然，巴于东谖为插人对等斋子体会引意一定i挽，从而带呆测量误差。 对于小体积高气压!j无声放电墨千幸荽际应后而吾，曼然，要插入一定尺度的探极是 丐一定围滩匏。为了骄艽这和情藐下的等高子昝参量，我口]可以按照气体放电甲扮相似 最皂厦莲，蹿吱间距离冶兀，丽气压拄比例蕞1。，可以认为运两者的放电参量是相似喜勺， 它们具有同样的电子温度和电子能量分布，也就是说，我们可以通迄诊断甲等气压下气 体放毛甲的电子能量状悉．亲近似地模拟真实高气压无声放电的状况。 由子介质阻拦元{放罨早毫授导体与放电等高于体隔绝，国监．很难用直流量探针 亲兰f量渤一拓覃交流；森较量#0，臣亍磊扳爱面没有介质阻拦层，探投的插^将严重 一d】一 影响无声放电的工作状态．如果攘扳表面也覆盏介质阻挡层，则探极表面的空间电荷雇 甲的拒斥场将不受外加探极电压的控制，