LaBaCo2O5＋δ薄膜的电输运及氧敏性质研究.pdfVIP

第33卷 第l2期 电 子 元 件 与 材 料 V0l_33No．12 2014年 12月 COMP0NENTS AND MATERIALS Dee．2014 LaBaCo2O5+薄膜的电输运及氧敏性质研究 洪敦华，高 敏，黄振龙，张 胤， 林 媛 (q-t-科技大学 微电子与固体电子学院电子薄膜和集成器件国家重点实验室，四川 成都 610054) 摘要：采用高分子辅助沉积法制备了si基LaBaCo205 (LBCO)薄膜，主要研究了si基LBCO薄膜的电输运性 质及氧敏性质。通过对 LBCO薄膜的电输运性质研究，发现LaBaCo2O5薄膜的激活能E为0．32eV，远小于同类 体材料PrBaCo205激活能(Ea=0．67eV)，说明将材料薄膜化以后，有利于降低材料的激活能；此外，LBCO薄膜阻， 温曲线满足小极化子热激化跳跃理论，证明该材料的导电机制是小极化子电子电导。氧敏性质研究发现，