基于LaNiO3和Pt电极的Pb（Zr0.52）Ti0.48）O3薄膜制备和电学性能研究.pdfVIP

17o7o 助 锨 材 料 2014年第 17期 (45)卷 文章编号 ：1001-9731(2014)17—17070—05 基于 LaNiO3和Pt电极的Pb(ZrO．52TiO．48)O3 薄膜制备和电学性能研究 邹 雪 。，赵全亮。，李志永 ，李 进 (1．北京交通大学 土木建筑工程学院，北京 100044 2．北方工业大学 建筑工程学院，北京 100144；3．北方工业大学 机电工程学院，北京 100144) 摘 要： 采 用 了溶胶一凝 胶 (sol-ge1)法分 别 在 的PZT铁 电薄膜呈现 出不 同的铁 电、介 电性 能 。 LaNiO。／si和 Pt／Ti／SiO ／si基 底 上 制备 Pb(Zr。．2 其中，电极材料对薄膜取向性的影响尤为突出，因为薄 Ti。8)O。(PZT)薄膜。X射线衍射 (XRD)结果表明， 膜是通过 自下而上逐层沉淀在下 电极上，下电极 的结 在相 同的工艺参数下 PZT／LaNiO。薄膜表现 出高度 构类型将