无机膜的表征.ppt

无机膜的表征 致密膜结构 各种金属及其合金膜 氧化物膜 多孔无机膜的表征内容 结构表征和性能表征 孔径大小及其分布、孔道形状、孔隙率、比表面积、孔体积、晶型、渗透性能及结构缺陷等。其中最重要的参数为孔径大小及其分布、孔隙率及渗透速率与渗透选择性。 孔径及孔径分布表征的意义 孔径及孔径分布是膜结构表征最重要的参数，是膜分离的基础。 无机膜的微滤和超滤分离，主要是依据“筛分”效应进行的，利用膜两边的压力差作为推动力，在一定孔径范围内物质分子直径的不同而渗透率不同，小分子物质可以通过，大分子物质被截留，从而实现分离。 气体物质的分离，依据气体分子在膜孔中扩散速率的差异，引起渗透率的不同，从而达到分离。 因此，孔径大小及其分布直接影响着流体在膜中的传递特性，控制着流体通过膜的流动方式，决定着流体的渗透特性和分离选择性。 渗透系数和渗透选择性表征的意义 渗透系数反映了流体在膜中的传递速率，而渗透选择性反映了流体不同组分在膜中透过能力的差异。 渗透系数与渗透选择性一起，决定了无机膜的分离效率及分离特性。 是无机膜应用中最重要的指标。 渗透系数和渗透选择性 第一节 无机膜的形貌及元素组成的表征 多孔无机膜微观结构的表征 表征膜形貌的同时进行元素分析 无机膜的分形表征（略） 一、多孔无机膜微观结构的表征 扫描电镜原理 扫描电镜的分辨率 扫描电镜的样品制备 扫描电镜的样品观察 扫描电镜的原理 利用扫描电子束从固体试样表面获得放大图像的仪器。 由电子枪发射的高能的电子束轰击样品表面时，将从样品中激发出带有各种有用的信息，信息反映了样品本身不同的物理化学性质。 扫描电镜功能就是根据不同的信息，采用不同的信息检测器以实现选择性检测，其中二次电子的信息加以收集，在荧光屏上便呈现出一幅亮暗程度不同，反映样品起伏程度（形貌）的二次电子像。 扫描电镜的分辨率和景深 扫描电镜的二次电子像分辨本领一般为6~10nm（最佳可达3nm），放大倍数为10~150000倍。 扫描电镜观察样品的景深（即样品深度方向的可观察程度）最大，二次电子像的形貌细节生动、衬度大、图像立体感强，能很好地反映成膜后膜的外观规整度、断面颗粒堆积和粗孔隙的情况。 扫描电镜在膜表征中成为一种基本的微观结构表征工具，能描述膜的表面形貌，揭示表面三维形貌。 扫描电镜的样品制备 膜样品扫描电镜观察 具有对称结构的无机膜的微观结构 Al2O3复合膜的微观结构（一） Al2O3复合膜的微观结构（二） α-Al2O3膜的SEM图 氧化硅膜的SEM和FESEM图 透射电镜的应用 透射电镜（TEM）具有1nm的分辨能力，然而由于样品制备技术的限制，对试样的剖析能力在10nm以上。 由于TEM的电子束必须穿透样品，对样品的厚度有严格的限制，因此常用于观测无支撑膜。 高分辨透射电镜（HRTEM）的分辨能力可进一步提高到0.3nm，可对膜材料的原子结构和组成进行分析。 原子力显微镜（AFM）和扫描隧道显微镜（STEM）对膜的表征 该类技术统称为扫描探针显微技术，可获得埃到微米级尺寸以下的表面图像。 AFM是利用探针尖与样品表面原子间的作用力代替隧道电流来反映表面图像。也就是将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品表面原子间存在极微的排斥力（10-8~10-6N），扫描时恒定这种力，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。 可以利用几种不同的方法检测微悬臂对应于各扫描点的位置变化，从而获得样品的表面形貌信息。 AFM在无机超滤、微滤膜的表征中获得了应用，用来表征膜表面颗粒大小、形状和表面粗糙度等。 γ-Al2O3膜的三维AFM图像 膜的厚度 通用商品分离膜最薄5μm，一般为10~20μm，而底层和过渡层的厚度是各式各样的。通常情况下，为了提供足够的机械强度，底层要有一定的厚度，一般约为1~2mm，过渡层的厚度在10~50μm之间。 底层的质量对分离膜层的影响 要获得光滑平整的分离膜层，必须与一个光滑的底层相连接。 在交界面处，尽量减少膜层粒子堵塞底层的孔。 膜对孔的要求 为了达到有效的分离目的，对于微孔膜要求孔径大小均匀且无裂缝存在。 对于致密膜，要求消除裂纹和针孔。 对于双金属合金膜（如Pd-Ag），则看是否形成了合金。 二、表征膜形貌的同时进行元素分析 X射线与莫塞来定律 波谱仪与能谱仪 X射线与莫塞来定律 波谱仪（WDX）与能谱仪（EDX） EDX用于观测无机膜的优缺点 在观察试样显微图像的同时能快速地进行元素分析，分析速度快，对试样要求不严格，仪器一般配有计算机和谱图系统，特别适用于定性和半定量分析。 由于x射线能谱仪能量（波长）分辨率低，目前还不能分析碳、氮、氧等轻元素，且探头的缺陷使低能侧出现峰拖尾，造成峰不对称，接收大量