SPC研究及其在芯片制造工艺中的应用.pdfVIP

No．1 微 处 理 机 第 1期 Feb．，2015 MICROPROCESSORS 2015年2月 SPC研究及其在芯片制造工艺中的应用 张鹏远 ，孔 明，赵子健 (中国电子科技集团公司第四十七研究所，沈阳110032) 摘 要：统计过程控制(SPC)技术是集生产技术与科学管理于一体的现代工艺质量管理技术。 在企业生产过程中，SPC是生产过程控制的有效手段和工具。SPC作为一种过程控制方法，运用数 理统计概率论的原理，应用统计方法对过程中的各个阶段进行监控，可及时发现生产过程中的异常 情况。 关键词：统计过程控制；控制图；均值极差图 DOI编码：10．3969／j．issn．1002—2279．2015．01．008 中图分类号：TN4 文献标识码：A 文章编号：1002—2279(2015)01—0022—03 Study