- 1、本文档共4页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
中国电工技术学会电力电子学会第十届学术年会论文集
高压铂扩散快恢复二极管的研究
1 1 2 2 1
孙树梅 曾祥斌 袁德成 梁湛深 肖敏
1) 华中科技大学电子科学与技术系,武汉 430074 2) 上海美高森美半导体有限公司,上海 210018
1) Email :smsun@
摘 要 本文对高压快恢复二极管的结构设计和制造工艺进行了深入分析,确定了合理的结构参数和先进的工艺流程。
+ +
选用合适的电阻率和厚度的 N 型直拉硅单晶片,采用磷硼纸源扩散,精确控制基区宽度形成 P NN 结构;采用铂液态源扩散
降低少数载流子寿命τ从而缩短反向恢复时间 t ;化学腐蚀形成台面提高反向击穿电压;玻璃钝化保护PN结减小表面污染
rr
从而降低表面漏电流提高耐压;双面镀镍金进行金属化等技术。得到较为理想的反向击穿电压 V ,正向压降 V ,反向恢复
BR F
时间 t 三参数之间的折衷。器件性能优良,可靠性高,样品通过150°C/ 168小时的高温反偏实验。
rr
+ +
关键词 铂扩散, P NN 结构, 反向恢复时间Trr
Study of High Voltage Pt Diffused Diode
1 1 2 1
SUN Shu-mei , ZENG Xiang-bin , YUAN De-cheng , XIAO min
1) Department of Electronic science and technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074,
China; 2)Microsemi Semiconductor Shanghai, Shanghai, 210018, China)
1) Email :smsun@
Abstract: This article analyzed the device structure and manufacture process of high voltage fast recovery diode.
Reasonable structure and advanced process were settled by a series of experiments. The N type CZ wafers were chosen as the
main material. Boron and phosphor paper dopant were used fo
您可能关注的文档
- 不同类型供热机组热电负荷优化分配的研究.pdf
- 基于SQL+Server分析服务构建数据挖掘方案的研究.pdf
- 特高压输电线路可控高抗与继电保护动作配合的研究.pdf
- 电力系统自动化SCADA网络QoS拥塞控制研究.pdf
- 基于参数识别的稳定性判据研究.pdf
- 福建武夷山野生早樱群落外貌特征研究.pdf
- C型行波法在配电网故障测距中应用之研究.pdf
- 基于J2EE技术的单点登录的研究及应用.pdf
- 热带果蔬PVC%2f纳米TiO2保鲜膜的研究Ⅰ+PVC%2f纳米TiO2共混膜的制备及其性能.pdf
- 5V锂离子电池正极材料的研究.pdf
- 地理-内蒙古锡林郭勒盟2023~2024学年第一学期高三年级全盟统考试题和答案.docx
- 历史|湖北元月调考暨湖北省部分市州元月高三期末联考历史试卷及答案.docx
- 历史-内蒙古锡林郭勒盟2023~2024学年第一学期高三年级全盟统考试题和答案.docx
- 数学(理科)-内蒙古锡林郭勒盟2023~2024学年第一学期高三年级全盟统考试题和答案.docx
- 历史丨金太阳24~239C湖北省十堰市2024届高三上学期1月调研考试历史试卷及答案.docx
- 青岛某高层办公楼地下防水施工方案(sbs卷材).docx
- 土木工程实习报告表格.doc
- 工程流体力学教学课件ppt作者闻建龙工程流体力学习题答案部分.doc
- 围手术期管理制度(1)_0.doc
- 2023年公务员多省联考《申论》题(内蒙古旗县卷)及参考答案.doc
文档评论(0)