Mg%2fMmM5多层复合薄膜的储氢性能和显微结构研究.pdfVIP

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第28卷专辑Ⅱ V01.28 武汉理工大学学报 Suppl.11 2006年11月 JOURNALOFWUHANUNIVERSITYOFTECItNOLOGY Nov.2006 Mg/MmMs多层复合薄膜的储氢性能和显微结构研究 欧阳柳章1,王辉1,邹进2,朱敏1 (1.华南理工大学机械工程学院,广州510641;2.DivisionofMatefiaisandCentreforMicroscopy andMicroana|ysis The ofQueensland,OLD4072.Australia) University 摘要:用X-my衍射(XRD)方法研究了磁控溅射帝l备的MmNi3 嗄放氩前后的结构变化和储氢性能。XRD表明Mg/MnlM5多层膜中Mg屉的储氢性能有一定程度的改善,嗄/放氢 温度分别为473K和523 K。用透射电镜(TEM)分析方法研究了快速燕退火(RTA)处理前后Mg/Mm地多层薄膜的 微现结构的变化,Mg/MmM5多层膜中Mg层和MmM,屡的结构与衬底的温度和材料本身的性质有密切关系。 Mg/Mmh乜多屡膜在400℃经过3minRTA处理后,Mg层中的纳采晶和柱状晶都有所长大,长大后的纳米晶扣枉状 晶晶杠足寸基本相当,约200run,纳米晶和拄状晶压界限仍然明显,柱状晶依然保持着沿垂直于衬底表面的[001]方 向生长;MmMs层中的非晶层消失.纳米晶得到长走,足寸约20叽。 关键词:镬基储氢材料;薄膜;磁控溅射;透射电镜(TEM) 中图分类号:TGl39 文献标志码:A Microstructureof MmNi3.5(CoAlMn)1.5/MgMulti-layers for HydrogenStorage ofMechaaieul China of 510641,China;2.Division (1,CoHege Engineering,SouthUhiversityTechnolc日y,Guangzbou MaterialsandCentrefor and of of MicroscopyMieroanalysia,TheQueensland,QLD4072,Australia) University ofmicrostructuresand of de- Abstract:Thec11ange hyarogenstorageproperties hereand thinfilmswerestudiedusing notingMmNi35(CoAIMn)I5 thereby)multi-layer by X-raydiffraction(XRD). XRDresultsshowsthat thinfilmscouldabsorbanddesorb at473Kand523K multi—layer hydrogen respee- Mg/MmM5

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