传感器与检测技术课件教学配套课件胡向东现代传感技术3讲.pdfVIP

第二节自扫描光电二极管阵列 (SSPD) 自扫描,分线阵和 面阵 一、电荷存储原理 预充电—放电（积分）--充电（信号输 出）--放电（积分）--充电（信号输出）- - （1 ）预充电：Q=CdUc （2-4 ） （2 ）曝光（放电）：ΔQ= （Ip+ID ）Ts ≈IpTs （2-5 ） 放电结束：Ucd=Uc- ΔQ/Cd （2-6 ） （3 ）再充电（信号输出）： ULmax=Uc-Ucd= ΔQ/Cd （2-7 ） U =I Ts/Cd=SpETs/Cd （2-8 ） Lmax p I = U /R =I Ts/ τ；τ=R Cd （2- L lmax L p L 9 ） 最大曝光量Hmax= （ETs ）max τ =CdUc/Sp （2-10 ） 二、SSPD器件 1.线阵SSPD (1) 感光部分;(2)多路开关;(3)移位寄存器. 波形图: 2.面阵SSPD 二维扫描(水平和垂直);视频Uout增加控制 先行后列,换行时留出2个像元采样时间,便 于消隐.波形自阅. 3.开关噪声及补偿 有两种补偿方法: (1)阵列补偿 (2)邻近位 三、SSPD主要特性参数（自阅） 四、SSPD信号读出及放大电路 1.电流放大输出 Uo=IosRf (2-11) Rs 调整合适 2. 电荷积分输出 Uo=CdUd/Cf (2-12) 特点:信噪比高,动态范围宽.但读出速度低. （PSD ）  与象限探测器比较,有如下优点: 1) 对光斑形状要求不严,便于测量 2) 光敏面无需分割,消除了死区,分辨率高. 3) 可同时检测位置和光强 一、PSD 的工作原理和位置表达式 光点距中心位置: I2 - I1 XA=L (2-14) I2 + I1 I0=I2+11 与入射光能成正比 二、一维PSD及等效电路 三、二维PSD及其等效电路 用于测定光点在二维平面（x，y ）的坐 标。 1.两面分离型PSD:互相垂直的两对电极分 两层.灵敏度,线性度和分辨率高. 2.表面分离性PSD:互相垂直的两对电极在 同一表面.加偏压容易,暗电流小,响应速度 快. 3.改进的表面分离性PSD 多四个电阻 见下图2-20 I’x-Ix I’y-Iy X=L ; y=L ; (2-15) Ix+I’x Iy+I’y 两种PSD 的特性曲线: 3.PSD转换电路 对输出的光电流进行电流- 电压转换并放大. 第四节输液过程中的光点传感器  光电传感器作为信息采集元件的优点: 1) 非接触. 2) 响应速度快