准分子激光精密加工陶瓷、玻璃等硬脆材料地研究.pdfVIP

第29卷 增刊 中 国 激 光 Vol.A29,Suppl 2002年 6月 CHINESEJOURNALOFLASERS June,2002 文章编号:0258-7025(2002)Supplgrtent-0575-04 准分子激光精密加工陶瓷、玻璃等硬脆材料的研究 ‘ 江 超 胡少六王又青 李 波龙 华 赦育红 华〔中科技大学激光技术国家重点实验室武汉430074) 提要 采用波长248nm的K,F准分子激光器，对从q 陶瓷片及玻璃片的精密加工进行了研究，探讨了各种工艺 参数对加工质量的影响规律。同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响，并且对加工后工件的表面形貌 进行了分析。 关健词 准分子激光器，激光精密加工，脉冲切割，工艺研究 中图分类号 TN249 文献标识码 A StudyonPrecisionMachiningCeramicsandGlassbyExcimerLaser JIANGChao HUSha-oliu WANGYou-ging LIBo LONGHua AoYu-bong (StateKeyLamtoryofLoserTmhnology,Huaz}gUnizersityofScienceandTechnology，Wuh-430074) Abstract Inthispaper.theprocessstudyingofprecisionmachiningceramicstheandglassthewithKrF(A=248ntn) excimerlaserwerecarriedout,theeffectsofprocessingparametersonqualityofprecisionmachiningwerestudied.The effectoflaserparametersonsurfaceroughnessofworkpieoeswerestudiedtoo.丁hesurfacetopographyofmachined workpecewasanalyzed. Keywordsexcimerlaser,laserprecisionmachining,pulsecutting,processstudying 1 引 言 工工程陶瓷的研究，这方面研究还是刚开始，还有许 多课题有待人们去研究。准分子激光器的激光波长 陶瓷和玻璃有突出的物理、化学性质，而且用途 短，属于紫外和深紫外光谱段，有强的脉冲能量和光 广泛。它们在应用中都必须加工成一定的形状。由 子能量，高的重复频率，窄的脉冲宽度等性能，而大 于这些材料既硬又脆，用传统的加工方法(化学机械 多数的金属和非金属材料对紫外光都有强烈的吸 加工法、喷水研磨法、超声波加工法等工’一3〕)加工时， 收，这些使准分子激光器在加工方面有独特的优势。 工件容易产生裂纹，而且比较费时、加工周期长，并 因此准分子激‘光加工为“冷”加工，加工时热应力小， 且很难加工成复杂的外形。随着激光器的出现，新 不易产生裂纹，而且不影响周围材料，材料去除量易 的加工方法产生了，为这类材料的加工提供了便利。 控制，所以特别适合陶瓷与玻璃等硬脆材料加工。 以前人们大都用红外波段的激光来进行加工， 使用的激光器是二q激光器和YAG激光器。作 2 实验设备、材料 用的机理是激光与材料相互作用的热效应，因此只 要材料的热物理性质好，就能够加工它而不管它的 使用的主要实验设备为:准分子激光器用德国 机械性质如何。但是由于这些波长的激光在加工过 制造的EMG201M