离子注入辅助多弧离子镀陶瓷表面改性的探究.pdfVIP

第31卷增刊1 稀有金属材料与工程 1 V01．3I，Supp RAREhmTAL 2002年9月 MATERIALSANDENGINEER【NG 2002 September 离子注入辅助多弧离子镀陶瓷表面改性研究 彭志坚，苗赫濯，司文捷，齐龙浩，龚江宏，李文治 (清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京100084) 摘要： 提出了陶瓷表面改性的离子注入辅助多弧离子镀技术概念，运用该技术对氮化硅陶瓷进行的表面改性研究表 明：陶瓷注入一定量钛离子后，注入层结构和性能呈梯度分布，注入层具有很强的导电能力；在该注入层基础上淀积 60mN以上：多组分薄膜具有优异的力学性能，动态载荷下的纳米硬度可达40GPa以上。该陶瓷表面改性技术可望有 较好应用前景。 一 关键词： 离子注^镝豆蓬蕊至疆；结构陶瓷；表面改性 43 A 中图法分类号：TG 文献标识码： 文章编号：1002—185X(2002)SI-0113—04 束能量(105 1引言 作用时，在极短时间内向材料表面淀积大量的能量， 将受作用的材料体系驱动到远离平衡的状态，且有效 高技术结构陶瓷由于高的高温硬度和强度，低密 度，抗蠕变，耐磨损，耐腐蚀和化学稳定性好等优点 而得到广泛应用，但由于其化学键的局限、制备过程 一系列中间态，当体系停留在某一中间态时就获得相 中的微裂纹和缺陷等原因使结构陶瓷具有本征弱点： 应亚稳材料，如非晶、准晶、化合物、亚稳晶态合金、 低韧性、低拉伸强度、低抗弯强度和不耐热震，因此 纳米晶材料等各种新型材料。(2)离子注入时添加的 高技术结构陶瓷制作成本高、可靠性和重现性低…。 合金元素是通过原子碰撞的动力过程掺入到材料基 改善结构陶瓷材料性能的途径很多，如：(1)优 体中去的，基本上不依靠热扩散，即离子注入是无热 化陶瓷成形工艺，通过消除和减少陶瓷结构缺陷改善 过程，处理温度接近常温，并且在真空中进行，一般 陶瓷性能和可靠性，从而提高产率、降低成本…。(2) 不引起材料变形，不改变零件外形尺寸和光洁度，不 致力于陶瓷材料的强化和增韧，如纤维增强，晶须增 影响待处理材料的整体性能。(3)离子注入是动力学 强，层状复合，弥散强化，自增韧等，提高材料的可 过程，添加合金元素到材料基体中去基本上不依靠化 学势，注入元素不必符合热力学平衡，与扩散系数无 靠性【1I。(3)开发新型陶瓷材料…。(4)发展陶瓷表 面改性技术。通过改变材料表面微米、甚至纳米级层 关；注入的浓度可以很大，且注入离子不受材料表面 次的结构，改变材料性能，提高材料服务能力和可靠 合金平衡相图中固溶度的限制：能够将多种元素注入 性，延长产品使用寿命，并因材料性能提高和原材料 到金属材料表面，且能注入互不相溶的杂质，注入元 消耗减少，材料的环境相容性增强，降低成本”…。 素的种类、能量、剂量和深度均可精确控制和测量， 离子注入技术是20世纪70年代发展起来的重要易于获得注入元素所需的深度分布。(4)离子注入层 表面改性技术，它能将